Нанесение равномерных по толщине покрытий на большие поверхности методом электронно-лучевого испарения в вакууме

Абзалова Г.И., Сабиров Р.С., Михайлов А.В. Нанесение равномерных по толщине покрытий на большие поверхности методом электронно-лучевого испарения в вакууме // Оптический журнал. 2005. Т.72. №10 С. 76-78.

Abzalova G.I., Sabirov R.S., Mikhailov A.V. Depositing uniform-thickness coatings on large surfaces by means of electron-beam evaporation in vacuum [in Russian] // Opticheskii Zhurnal. 2005. V. 72. No 10. P. 76-78.

Abzalova G.I., Sabirov R.S., Mikhailov A.V. Depositing uniform-thickness coatings on large surfaces by means of electron-beam evaporation in vacuum // Journal of Optical Technology. 2005. V. 72. № 10. P. 799-801. https://doi.org/10.1364/JOT.72.000799

Рассмотрен метод повышения равномерности по толщине многослойных интерференционных покрытий, наносимых электронно-лучевым испарением в вакууме на сферические поверхности путем экранирования с помощью маски потока молекул испаряемого материала. Получены аналитические выражения для расчета формы маски и приведены экспериментальные результаты. На вакуумной установке с диаметром камеры 700 мм изготовлены отражающие покрытия из оксидов циркония и кремния с неравномерностью по толщине не более ±1,5% на плоской подложке диаметром 550 мм.