Исследование дифракционных решеток с высокой лучевой стойкостью для компрессии мощных лазерных импульсов

Андреев А.А., Винокурова В.Д., Герке Р.Р., Салль Е.Г., Яшин В.Е. Исследование дифракционных решеток с высокой лучевой стойкостью для компрессии мощных лазерных импульсов // Оптический журнал. 2005. Т.72. №4 С. 12-15.

Andreev A. A., Vinokurova V. D., Gerke R. R., Sall' E. G., Yashin V. E. Radiation-resistant diffraction gratings for squeezing powerful laser pulses [in Russian] // Opticheskii Zhurnal. 2005. V. 72. No 4. P. 12-15.

Andreev A. A., Vinokurova V. D., Gerke R. R., Sall' E. G., Yashin V. E. Radiation-resistant diffraction gratings for squeezing powerful laser pulses // Journal of Optical Technology. 2005. V. 72. № 4. P. 298-301. https://doi.org/10.1364/JOT.72.000298

Показано, что при нанесении диэлектрического покрытия происходит отклонение формы его профиля от первоначальной формы профиля металлической решетки ("замывание"). Путем численного моделирования и измерений на электронно-лучевом микроскопе определена величина замывания. Показано, что уменьшение глубины штрихов является основным фактором, снижающим дифракционную эффективность и лучевую стойкость металлических дифракционных решеток с многослойными дизлектрическими покрытиями. Оптимизация условий нанесения таких покрытий, в том числе и с использованием диэлектриков с большой разностыю показателей преломления, позволяет сгладить эффект замывания.