УДК: 681.785.552, 778.38, 621.315.582.6, 539.21, 621.382

Технологические условия оптимизации характеристик голограммных дифракционных решеток на слоях селенида мышьяка

Вандюков Е.А., Знаменский М.Ю., Саттаров Ф.А.

Полный текст на elibrary.ru

Ссылка для цитирования:

Вандюков Е.А., Знаменский М.Ю., Саттаров Ф.А. Технологические условия оптимизации характеристик голограммных дифракционных решеток на слоях селенида мышьяка // Оптический журнал. 2007. Т. 74. № 5. С. 58–62.

Vandyukov E.A., Znamenskiy M.Yu., Sattarov F.A. Technological conditions for optimizing the characteristics of holographic diffraction gratings on arsenic selenide films [in Russian] // Opticheskii Zhurnal. 2007. V. 74. № 5. P. 58–62.

Ссылка на англоязычную версию:

Аннотация:

В работе рассмотрены достигнутые оптимальные технологические условия получения голограммных дифракционных решеток с учетом проведенного изучения физической природы фотостимулированных процессов в вакуумно-осажденных слоях селенида мышьяка, подбора скоростей осаждения и режимов обработки экспонированных слоев. Установлена последовательность операций на заключительном этапе технологического процесса, обеспечивающая сохранность опти- ческих характеристик решеток в течение гарантийного срока эксплуатации.

Коды OCIS: 1000.10000, 300.6250, 300.6270, 3000.6300

Список источников:

1. Любин В.М. Стеклообразные полупроводники в устройствах регистрации оптических изображений // Структура и свойства некристаллических полупроводников. Л.: Наука, 1975. С. 415-425.

2. Малиновский В.К. О механизме фотопревращений в средах для оптической памяти // Автометрия. 1985. № 1. С. 25-40.

3. Мамедов С.Б., Михайлов М.Д., Погорелова В.Р., Яковук О.А. Фотостимулированные изменения скорости растворения пленок As2S3 и AsSe // Неорганические материалы. 1988. Т. 23, № 11. С. 1804-1808.

4. Моден А., Шо М. Физика и применение аморфных полупроводников. М.: Мир, 670 с.

5. Астафьева М.Н., Кожинова И.А., Саттаров Ф.А., Смолякова Э.М. Исследование процесса дефектообразования на тонких пленках ХСП // Материалы семинара "Дифракционная оптика, новые разработки в технологии и применение". М.: НТЦ "Информтехника", 1991. С. 20.

6. Восковцова Л.М., Давлетшина З.Ю., Камардин Ю.Б., Лукин А.В., Плотникова Т.П., Саттаров Ф.А., Чугунов Ю.П. Особенности копий голограммных дифракционных решеток на халькогенидных стеклообразных полупроводниках // Оптический журнал. 1993. № 9. С. 44-47.

7. Кожинова И.А., Любимов А.И., Матвеев Ю.В., Саттаров Ф.А., Смолякова Э.М. Высокочастотные ГДР на слоях неорганического фоторезиста ХСП // Материалы семинара "Дифракционная оптика, новые разработки в технологии и применение". М.: НТЦ "Информтехника". 1991. С. 20.

8. Лукин А.В., Макаров А.С., Саттаров Ф.А., Селезнев В.А., Скочилов А.Ф., Стрельников Ю.П. Крупногабаритные голограммные решетки на слоях халькогенидных стеклообразных проводников высокого качества // Оптический журнал. 1999. Т. 66, № 12. С. 73-74.

9. Lukin A.V., Makarov A.S., Sattarov F.A., Strelnikov Ju.P., Fayzrakhmanov I.A., Khaybullin I.B. Hologram blazed diffraction gratings for wide spectral range // Proc. SPIE. 1997. Vol. 3317. P. 195-199.

10. Вандюков Е.А., Саттаров Ф.А., Знаменский М.Ю., Филиппов В.Л., Лукин А.В., Вандюкова И.И., Соболев А.П. Природа фотостимулированных процессов в слоях As2Se3, используемых при изготовлении элементов дифракционной оптики // Оптический журнал. 2005. Т. 72, № 2. С. 56-60.

11. Berkes J.S., Jng S.W., Hillegas W.J. Photodecomposition of amorphous As2S3 and As2Se3 // Journal of Applied Physics. 1971. Vol. 42, N 12. P. 4908-4916.

12. Саттаров Ф.А., Вандюков Е.А., Филиппов В.Л., Лукин А.В., Знаменский М.Ю., Вандюкова И.И., Соболев А.П. Оптимизация техпроцессов изготовления рельефно-фазовых дифракционных оптических элементов в слоях халькогенидов с учетом результатов исследования физической природы фотостимулированных процессов // Сборник трудов VI Международной конференции "Прикладная оптика". Санкт-Петербург, 2004. Т. 4. С. 104-107.

13. Саттаров Ф.А., Вандюков Е.А., Филиппов В.Л., Лукин А.В., Вандюкова И.И., Соболев А.П., Знаменский М.Ю. Исследование структурных нанонеоднородностей в халькогенидах различного стехиометрического состава // Сборник статей XII конференции "Структура и динамика молекулярных систем". Москва, 2004. Ч. 2. С. 170-175.