Измерение параметров вибраций и шероховатости поверхности с использованием частотного спектра флуктуаций интенсивности рассеянного излучения

Бронников В.И., Калугин М.М. Измерение параметров вибраций и шероховатости поверхности с использованием частотного спектра флуктуаций интенсивности рассеянного излучения // Оптический журнал. 2009. Т. 76. № 11. С. 32–37.

Bronnikov V.I., Kalugin M.M. Measuring the parameters of vibrations and surface roughness, using the frequency spectrum of the intensity fluctuations of scattered radiation [in Russian] // Opticheskii Zhurnal. 2009. V. 76. № 11. P. 32–37.

V. N. Bronnikov and M. M. Kalugin, "Measuring the parameters of vibrations and surface roughness, using the frequency spectrum of the intensity fluctuations of scattered radiation," Journal of Optical Technology. 76 (11), 697-701 (2009). https://doi.org/10.1364/JOT.76.000697

В работе с применением дифракционной модели рассеяния излучения на шероховатой поверхности показана возможность расширения области применения временных флуктуаций интенсивности излучения, рассеянного вибрирующей поверхностью (динамической спекл-картины). Установлено, что характеристики временного частотного спектра неоднородностей интенсивности позволяют измерять не только частоту и амплитуду вибраций, но и шероховатость поверхности. Приводятся экспериментальные результаты измерений параметров вибраций и шероховатости с использованием лазерного излучения с длиной волны 0,63 мкм.