en
Назад
УДК: 621.383.72
Семейство крупноформатных линейных фоточувствительных приборов с зарядовой связью с разрешением 38,5 пар лин/мм
Полный текст «Оптического журнала»
Полный текст на elibrary.ru
Публикация в Journal of Optical Technology
Костюков Е.В., Маклаков А.М., Скрылев А.С. Семейство крупноформатных линейных фоточувствительных приборов с зарядовой связью с разрешением 38,5 пар лин/мм // Оптический журнал. 2009. Т. 76. № 12. С. 20–26.
Kostyukov E.V., Maklakov A.M., Skrylev A.S. A family of large-format linear photosensitive charge-coupled devices with resolution 38.5 line pairs/mm [in Russian] // Opticheskii Zhurnal. 2009. V. 76. № 12. P. 20–26.
E. V. Kostyukov, A. M. Maklakov, and A. S. Skrylev, "A family of large-format linear photosensitive charge-coupled devices with resolution 38.5 line pairs/mm," Journal of Optical Technology. 76 (12), 750-754 (2009). https://doi.org/10.1364/JOT.76.000750
Рассмотрены особенности конструкции и технологии изготовления серии линейных фоточувствительных приборов с зарядовой связью (ЛФПЗС) с числом элементов от 3072 до 6144. Приборы имеют шаг расположения фоточувствительных элементов 13 мкм, что обеспечивает разрешение 38,5 пар лин/мм. Приведены основные геометрические и фотоэлектрические параметры ЛФПЗС.
прибор с зарядовой связью, линейный ФПЗС: процесс изготовления, параметры, характеристики
Коды OCIS: 040.1240, 040.1520
Список источников:1. Костюков Е.В., Павлова З.В., Пресс Ф.П. Линейные фоточувствительные микросхемы с зарядовой связью К1200ЦЛ5 и К1200ЦЛ6 // Электрон. про-
мышл. 1987. В. 3(161). С. 15–22.
2. Костюков Е.В. Линейные фоточувствительные приборы с зарядовой связью с разрешением до 50 пар лин/мм // Интеграл. 2007. № 1. С. 3–8.
3. Воронов В.В., Какоулин М.И., Костюков Е.В., Кузнецов Ю.А., Маклаков А.М., Скрылев А.С., Тихонов А.А., Трунов С.В., Пугачев А.А., Чернокожин В.В., Шилин В.А. Фоточувствительные приборы с зарядовой связью – современная элементная база фотонных систем // Электрон. промышл. 2003. В. 2. С. 155–168.