УДК: 535.345.6, 621.382

Просветляющие покрытия на подложках из германия и кремния в окнах прозрачности ИК области спектра 3-5 мкм и 8-12 мкм

Гайнутдинов И.С., Шувалов Н.Ю., Сабиров Р.С., Иванов В.А., Гареев Р.Р., Мирханов Н.Г.

Полный текст на elibrary.ru

Публикация в Journal of Optical Technology

Ссылка для цитирования:

Гайнутдинов И.С., Шувалов Н.Ю., Сабиров Р.С., Иванов В.А., Гареев Р.Р., Мирханов Н.Г. Просветляющие покрытия на подложках из германия и кремния в окнах прозрачности ИК области спектра 3-5 мкм и 8-12 мкм // Оптический журнал. 2009. Т. 76. № 5. С. 68–72.

Gainutdinov I.S., Shuvalov N.Yu., Sabirov R.S., Ivanov V.A., Gareev R.R., Mirkhanov N.G. Antireflection coatings on germanium and silicon substrates in the 3–5-μm and 8–12-μm windows of IR transparency [in Russian] // Opticheskii Zhurnal. 2009. V. 76. № 5. P. 68–72.

Ссылка на англоязычную версию:

I. S. Gaĭnutdinov, N. Yu. Shuvalov, R. S. Sabirov, V. A. Ivanov, R. R. Gareev, and N. G. Mirkhanov, "Antireflection coatings on germanium and silicon substrates in the 3–5-μm and 8–12-μm windows of IR transparency," Journal of Optical Technology. 76 (5), 302-305 (2009). https://doi.org/10.1364/JOT.76.000302

Аннотация:

Представлены конструкции просветляющих покрытий на подложках из германия и кремния с использованием пленкообразующих материалов ZnS, Ge, YF3, MgF2. Приведены спектральные характеристики остаточного отражения и пропускания покрытий в диапазонах спектра 3–5 мкм и 8–12 мкм.

Ключевые слова:

просветляющее покрытие, полупроводниковый кристалл, ахроматизация просветления

Коды OCIS: 310.3840

Список источников:

1. Гайнутдинов И.С., Несмелов Е.А., Хайбуллин И.Б. Интерференционные покрытия для оптического приборостроения. Казань: изд. “Фэн”, 2002. 592 с.
2. Кард П.Г. Анализ и синтез многослойных интерференционных пленок. Таллин, Валгус, 1971.
3. Кокс Дж. Т., Хасс Г. / Сб. Физика тонких пленок. Т. 2, стр.186–253, М., Мир, 1967.
4. Кард П., Несмелов Е., Конюхов., Иванов В. Просветление трехслойным симметричным покрытием // Известия АН Эстонской ССР. 1969. Т. 18. № 2. С. 186–192.
5. Риттер Э. Пленочные диэлектрические материалы для оптических применений // Сб. Физика тонких пленок. Т. 8. М.: Мир, 1967. С. 7–60.
6. Pulker H. Appl. Opt. 1979. V.18. № 12. Р.1969–1977.
7. Соколова Р.С., Михайлов А.В., Муранова Г.А. Просветляющие покрытия повышенной оптической эффективности для ИК области спектра // Оптический журнал. 2005. Т. 72. № 10. С. 72–75.
8. Якобсон Р. Неоднородные и совместно напыленные однородные пленки для оптических применений // Сб. Физика тонких пленок. Т. 8. М.: Мир, 1967. С. 61–75.
9. Холлэнд Л., Нанесение тонких пленок в вакууме, Госэнергоиздат, М., 1963.
10. Bezuidenhout D. и др. The optical properties of YF3 films. – Thin Solid Films. 1987. 155. C. 17–30.
11. Панасенко Б.В. Исследование влияния сорбции атмосферной влаги на оптические свойства тонких диэлектрических пленок и многослойных интерференционных систем // Диc. канд. физико-математических наук. Казань, 1984.