en
Назад
УДК: 541.1
Совершенствование технологии сборки высококачественных призменных модулей методом глубокого оптического контакта
Полный текст «Оптического журнала»
Полный текст на elibrary.ru
Публикация в Journal of Optical Technology
Потелов В.В. Совершенствование технологии сборки высококачественных призменных модулей методом глубокого оптического контакта // Оптический журнал. 2009. Т. 76. № 8. С. 41–45.
Potelov V.V. Perfecting a technology for assembling high-quality prism modules by the method of deep optical contact [in Russian] // Opticheskii Zhurnal. 2009. V. 76. № 8. P. 41–45.
V.V. Potelov, "Perfecting a technology for assembling high-quality prism modules by the method of deep optical contact," Journal of Optical Technology. 76 (8), 482-485 (2009). https://doi.org/10.1364/JOT.76.000482
Рассмотрены технологические вопросы очистки, хранения и перевозки четыреххлористого кремния и очистки оптических поверхностей перед нанесением пленки диоксида кремния при использовании технологии сборки оптических деталей методом глубокого оптического контакта.
кремнийэлементорганические соединения, особо чистые вещества, ректификация, кристаллизация, адсорбция
Коды OCIS: 220.4610, 160.4670, 160.4760
Список источников:1. ОСТ 3-6783-93. Детали оптические. Требования к типовым технологическим процессам соединения методом глубокого оптического контакта.
2. Девятых Г.Г. Выставка-коллекция высокочистых веществ. М.: Наука, 2004. 354 с.
3. Отчет по НИР “Синтез многофункциональной ХТС производства КЭОС особой чистоты” 7.1-1-86/90 МХТИ им. Менделеева. 75 с.