УДК: 535.417, 535.317, 778.38

Программный комплекс для синтеза и цифрового восстановления голограмм-проекторов: влияние параметров синтеза на качество восстановленного изображения

Корешев С.Н., Никаноров О.В., Иванов Ю.А., Козулин И.А.

Полный текст на elibrary.ru

Публикация в Journal of Optical Technology

Ссылка для цитирования:

Корешев С.Н., Никаноров О.В., Иванов Ю.А., Козулин И.А. Программный комплекс для синтеза и цифрового восстановления голограмм-проекторов: влияние параметров синтеза на качество восстановленного изображения // Оптический журнал. 2010. Т. 77. № 1. С. 42–48.

Koreshev S.N., Nikanorov O.V., Ivanov Yu.A., Kozulin I.A. Program system for synthesis and digital reconstruction of holograms-projectors: synthesis parameters effect on image reconstruction quality [in Russian] // Opticheskii Zhurnal. 2010. V. 77. № 1. P. 42–48.

Ссылка на англоязычную версию:

S. N. Koreshev, O. V. Nikanorov, Yu. A. Ivanov, and I. A. Kozulin, "Program system for synthesis and digital reconstruction of holograms-projectors: synthesis parameters effect on image reconstruction quality," Journal of Optical Technology. 77(1), 33-37 (2010). https://doi.org/10.1364/JOT.77.000033

Аннотация:

Сообщается о разработке программного комплекса для синтеза и восстановления голограмм-проекторов. Работа выполнена в целях практической реализации голографического варианта фотолитографического процесса, в котором синтезированная голограмма одновременно выполняет функции фотошаблона и проекционного объектива. Описаны программные возможности комплекса и используемые в нем алгоритмы. Приведены результаты успешного тестирования разработки. Показана возможность использования комплекса для оптимизации параметров синтеза голограмм-проекторов.

Ключевые слова:

голограмма-проектор, цифровой синтез голограмм, преобразование Френеля, принцип Гейгенса–Френеля

Коды OCIS: 090.1760

Список источников:

1. Koreshev S.N., Ratushnyi V. Holographic method for obtaining images of two–dimensional objects with limiting high resolution for extreme shotwave lithography problems // Practical holography XVIII: Materials and Applications. Proc. SPIE. 2004. V. 5290. P. 221–232.
2. Jacobsen C., Howells M. Projection x-ray lithography using computer-generated holograms: A study of compatibility with proximity lithography // J. Appl. Phys. 1992. V. 71. P. 2993–3001.
3. Naullenau P.P., Salmassi F., Cullikson E.M., Liddle J.A. Design and fabrication of a high-efficiency extreme-ultraviolet binary phase-only computergenerated hologram // Appl. Optics. 2007. V. 46. № 14. P. 2581–2585.
4. Корешев С.Н., Никаноров О.В., Козулин И.А. Выбор параметров синтеза голограмм-проекторов для фотолитографии // Оптический журнал. 2008. Т. 75. № 9. С. 29–34.
5. Моро У. Микролитография. М.: Мир, 1990. 1240 с.
6. Гудмен Дж. Введение в Фурье-оптику. М.: Мир, 1970. 364 с.