УДК: 681.723.26

Исследование оптических свойств наноструктур методом модуляционной интерференционной микроскопии

Игнатьев П.С., Лопарев А.В., Индукаев К.В., Осипов П.А.

Полный текст на elibrary.ru

Публикация в Journal of Optical Technology

Ссылка для цитирования:

Игнатьев П.С., Лопарев А.В., Индукаев К.В., Осипов П.А. Исследование оптических свойств наноструктур методом модуляционной интерференционной микроскопии // Оптический журнал. 2011. Т. 78. № 1. С. 26–31.

Ignatiev P.S., Loparev A.V., Indukaev K.V., Osipov P.A. Investigating the optical properties of nanostructures by modulation interference microscopy [in Russian] // Opticheskii Zhurnal. 2011. V. 78. № 1. P. 26–31.

Ссылка на англоязычную версию:

P. S. Ignat’ev, A. V. Loparev, K. V. Indukaev, and P. A. Osipov, "Investigating the optical properties of nanostructures by modulation interference microscopy," Journal of Optical Technology. 78(1), 19-24 (2011). https://doi.org/10.1364/JOT.78.000019

Аннотация:

Разработан модуляционный интерференционный микроскоп с рекордно высоким латеральным разрешением (10–100 нм) и высокой (до 250 кад ров в секунду) скоростью получения изображений. Приводятся описания оптической схемы прибора, принципов работы и проблем сверхвысокого оптического разрешения в фазовых изображениях. Обсуждаются возможные пути развития метода модуляционной интерференционной микроскопии, а также области применения метода для исследования наноструктурированных материалов, топологии интегральных микросхем и морфологии биологических объектов.

Ключевые слова:

модуляционная интерференционная микроскопия, сверхразрешение, оптическая анизотропия, топология ИС, нанодинамика

Коды OCIS: 180.3170, 170.1650

Список источников:

1. Тычинский В.П. Микроскопия субволновых структур // УФН. 1996. Т. 166. № 11. С. 1219–1229.
2. Тычинский В.П. Когерентная фазовая микроскопия внутриклеточных процессов // УФН. 2001. Т. 171. № 6. С. 649–661.
3. Тычинский В.П. Динамическая фазовая микроскопия: возможен ли “диалог” с клеткой? // УФН. 2007. Т. 177. № 5. С. 535–552.
4. Вишняков Г.Н., Закарян К.С., Левин Г.Г., Стрелецкая Е.А. Исследование оптически прозрачных объектов при помощи томографического микроскопа Линника // Измерительная техника. 1999. № 1. С. 46–49.
5. Ikeda T., Popescu G., Dasari R., Feld M. Hilbert phase microscopy for investigating fast dynamics in transparent systems // Opt. Lett. 2005. V. 30. P. 1165–1167.
6. Popescu G. et al. Erythrocyte structure and dynamics quantified by Hilbert phase microscopy // J. Biomed. Opt. 2005. V. 10. P. 0605031–0605033.7. http://www.veeco.com/promos/default.aspx?PromoID=75&gclid=COCRzdOyuqACFQw9ZgodUnxBUA
8. http://zygo.com/?/met/interferometers/pti250/
9. Kwon F.H., Kim B.S., Cho K. A new scanning heterodyne interferometer scheme for mapping both surface structure and effective local reflection coefficient // Optics Express. 2008. V. 16. № 17. P. 13456–13464.
10. Индукаев К.В. Патент России № 2181498. 2001.
11. European Patent Application № 01922153.0-2217.2001.
12. US Patent Application № 10/466,351. 2003.
13. Andreev V.A., Indukaev K.V. The problem of subrayleigh resolution in interference microscopy // Journal of Russian Laser Research. 2003. V. 24. № 3. P. 220–236.
14. Андреев В.А., Индукаев К.В. Распределение фазы Рытова-Владимирского в интерферометре Линника // Bulletin of the Lebedev Physics Institute. 2000. № 5.
15. Игнатьев П.С., Индукаев К.В., Лопарев А.В., Осипов П.А. Новые аспекты применения МИМ-310 для нанометрологии // Тез. докл. “Высокие технологии XXI века”. М., 2009. С. 17–23.
16. Лопарев А.В., Игнатьев П.С., Индукаев К.В., Осипов П.А., Мазалов И.Н., Козырев А.В. Высокоскоростной модуляционный интерференционный микроскоп для медико-биологических исследований // Измерительная техника. 2009. № 11. С. 60–64.
17. Brazhe A.R., Brazhe N.A., Maksimov G.V., Ignatyev P.S., Rubin A.B., Mosekilde E., Sosnovtseva O.V. Phase-modulation laser interference microscopy: an advance in cell imaging and dynamics study // J Biomed Opt. 2007. V. 3. № 13. P. 034004.
18. Brazhe A.R., Brazhe N.A., Rodionova N.N., Yusipovich A.I., Ignatyev P.S., Maksimov G.V., Mosekilde E., Sosnovtseva O.V. Non-Invasive Study of Live Nerve Fibers using Laser Interference Microscopy // Phil. Trans. Roy. Soc. A. 2008. V. 366. № 1880. P. 3463–3481.
19. Игнатьев П.С., Индукаев К.В., Лопарев А.В., Осипов П.А. Новое поколение лазерных микроскопов для медико-биологических исследований // Тез. докл. II Московской региональной научно-практической конференции “Цитометрия в медицине и биологии: фундаментальные и прикладные аспекты”. М., 2009. С. 34–36.
20. Лопарев А.В., Кретушев А.В., Тычинский В.П. Когерентная фазовая микроскопия: новый метод идентификации внутриклеточных структур по их оптическим и морфометрическим параметрам. Биофизика. 2008. Т. 53. № 2. С. 299–304.
21. Сохликов А.Б., Игнатьев П.С. Лазерная интерференционная микроскопия при нозематозе // Пчеловодство. 2008. № 6. С. 25–28.