УДК: 535.417, 778.38

Метод синтеза голограмм-проекторов, основанный на разбиении структуры объекта на типовые элементы, и программный комплекс для его реализации

Корешев С.Н., Никаноров О.В., Громов А.Д.

Полный текст на elibrary.ru

Публикация в Journal of Optical Technology

Ссылка для цитирования:

Корешев С.Н., Никаноров О.В., Громов А.Д. Метод синтеза голограмм-проекторов, основанный на разбиении структуры объекта на типовые элементы, и программный комплекс для его реализации // Оптический журнал. 2012. Т. 79. № 12. С. 30–37.

Koreshev S. N., Nikanorov O. V., Gromov A. D. Method of synthesizing hologram projectors based on breaking down the structure of an object into typical elements, and a software package for implementing it [in English] // Opticheskii Zhurnal. 2012. V. 79. № 12. P. 30–37.

Ссылка на англоязычную версию:

S. N. Koreshev, O. V. Nikanorov, and A. D. Gromov, "Method of synthesizing hologram projectors based on breaking down the structure of an object into typical elements, and a software package for implementing it," Journal of Optical Technology. 79(12), 769-774 (2012). https://doi.org/10.1364/JOT.79.000769

Аннотация:

Предложен метод синтеза голограмм-проекторов Френеля, основанный на разбиении структуры объекта на типовые элементы. В качестве одного из основных достоинств предложения отмечается обеспечиваемая этим методом возможность существенного сокращения объема требуемых вычислений. Описан программный комплекс синтеза и восстановления голограмм-проекторов Френеля, реализующий этот метод. Приведены результаты экспериментального исследования комплекса, выполненные в процессе сравнительного анализа предложенного и традиционного методов синтеза голограмм-проекторов.

Ключевые слова:

голографическая проекционная фотолитография, голограммапроектор Френеля, синтез голограмм-проекторов, цифровое восстановление голограмм, фазовая голограмма, диффузная подсветка, фазовый сдвиг

Коды OCIS: 090.1760

Список источников:

1. Корешев С.Н., Ратушный В.П. Использование метода голографии для получения изображений двумерных объектов при решении задач фотолитографии высокого разрешения // Оптический журнал. 2004. Т. 71. № 10. С. 32–39.
2. Koreshev S.N., Ratushnyi V.P. Holographic method for obtaining images with limiting high resolution for extreme shot-wave lithography problems // Proc. SPIE. 2004. V. 5290. P. 221–232.
3. Clube F., Gray S., Struchen D., Tisserand J., Malfoy S., Darbellay Y. Holographic microlithography // Opt. Eng. 1995. V. 34. № 9. P. 2724–2730.
4. Корешев С.Н., Ратушный В.П. Голограммы сфокусированного изображения в задаче высокоразрешающей проекционной голографической фотолитографии // Опт. и спектр. 2006. Т. 101. № 6. С. 1038–1042.
5. Jacobsen C., Howells M. Projection x-ray lithography using computer-generated holograms: A study of compatibility with proximity lithography // J. Appl. Phys. 1992. V. 71. P. 2993–3001.
6. Naullenau P.P., Salmassi F., Cullikson E.M., Liddle J.A. Design and fabrication of a high-efficiency extremeultraviolet binary phase-only computer-generated hologram // Appl. Optics. 2007. V. 46. № 14. P. 2581–2585.
7. Корешев С.Н., Никаноров О.В., Ратушный В.П. Восстановление синтезированных голограмм-проекторов Френеля при углах падения восстанавливающей волны, превышающих угол падения опорной волны при синтезе голограммы // Опт. и спектр. 2011. Т. 111. № 1. С. 156–161.
8. Корешев С.Н., Никаноров О.В., Иванов Ю.А., Козулин И.А. Программный комплекс для синтеза и цифрового восстановления голограмм-проекторов: влияние параметров синтеза на качество восстановленного изображения // Оптический журнал. 2010. Т. 77. № 1. С. 42–48.
9. Shimobaba T., Nakayama H., Masuda N., Ito T. Rapid calculation algorithm of Fresnel computer-generatedhologram using look-up table and wavefront-recording plane methods for three-dimensional display // OPTICS EXPRESS. 2010. V. 18. № 19. P. 19504–19509.
10. Lucente M. Interactive Computation of holograms using a “Look-up Table” // J. Electron. Imaging. 1993. № 2. Р. 28–34.
11. Kim S.C., Kim E.S. Effective generation of digital holograms of three- dimensional objects using a novel “lookup table method” // Appl. Opt. 2008. V. 47. № 19. Р. D55–D62.
12. Kim S.C., Kim E.S. Fast computation of hologram patterns of a 3D object using run-length encoding and novel look-up table methods // Appl. Opt. 2009. V. 48. № 6. Р. 1030–1041.
13. Корешев С.Н., Никаноров О.В., Козулин И.А. Выбор параметров синтеза голограмм-проекторов для фотолитографии // Оптический журнал. 2008. Т. 75. № 9. С. 29–34.