УДК: 621.327.9; 535-31; 537.527.3; 537.527.9

Эксилампы вакуумного ультрафиолетового диапазона с возбуждением барьерным коронным разрядом

Ломаев М.И., Скакун В.С., Тарасенко В.Ф., Шитц Д.В., Ерофеев М.В.

Полный текст на elibrary.ru

Публикация в Journal of Optical Technology

Ссылка для цитирования:

Ломаев М.И., Скакун В.С., Тарасенко В.Ф., Шитц Д.В., Ерофеев М.В. Эксилампы вакуумного ультрафиолетового диапазона с возбуждением барьерным коронным разрядом // Оптический журнал. 2012. Т. 79. № 8. С. 83–91.

Lomaev M. I., Skakun V. S., Tarasenko V. F., Shitts D. V., Erofeev M. V. Vacuum-ultraviolet excilamps with excitation by a barrier corona discharge [in English] // Opticheskii Zhurnal. 2012. V. 79. № 8. P. 83–91.

Ссылка на англоязычную версию:

M. I. Lomaev, V. S. Skakun, V. F. Tarasenko, D. V. Shitts, and M. V. Erofeev, "Vacuum-ultraviolet excilamps with excitation by a barrier corona discharge," Journal of Optical Technology. 79(8), 503-508 (2012). https://doi.org/10.1364/JOT.79.000503

Аннотация:

Представлены результаты исследований эксиламп с возбуждением барьерным коронным разрядом, для которого характерно неоднородное распределение электрического поля между электродами, один из которых покрыт диэлектриком. Установлено, что при этих условиях возбуждения эффективность излучения на димерах инертных газов достигает 45% на 172 нм и 25% на 146 нм. На основе проведенных исследований созданы: излучательный комплекс отпаянных эксиламп на димерах ксенона с мощностью излучения до 120 Вт и широкоапертурная, малогабаритная эксилампа с прокачкой аргона в разрядном объеме. Плотность мощности излучения малогабаритной эксилампы в безоконном режиме достигала 10 мВт/см².

Ключевые слова:

вакуумное ультрафиолетовое излучение, эксилампа, барьерная корона, однобарьерный разряд

Коды OCIS: 230.6080; 260.7210

Список источников:

1. Зайдель А.Н., Шрейдер Е.Я. Спектроскопия вакуумного ультрафиолета. М.: Наука. Гл. ред. физ.-мат. лит-ры. 1967. 472 с.
2. Vollkommer F., Hitzschke L. Dielectric barrier discharge // Proc. of the 8th Int. Symp. on Science & Technology of Light Sources, Greifswald, Germany. 1998. P. 51–60.
3. Герасимов Г.Н. Оптические спектры бинарных смесей инертных газов // УФН. 2004. Т. 174. № 2. С. 155–175.
4. Kogelschatz U. Excimer Lamps: History, Discharge Physics, and industrial Applications // Proc. of SPIE. 2004. V. 5483. P. 272–286.
5. Mildren R.P., Carman R.J. Enhanced performance of a dielectric barrier discharge lamp using short-pulsed excitation // J. Phys. D: Appl. Phys. 2001. V. 34. P. L1–L6.
6. Boichenko A.M., Yakovlenko S.I., Tarasenko V.F. Electron beam-excited excilamp’s optimal characteristics // Laser and Particle Beams. 2000. V. 18. P. 655–660.
7. Salvermoser M., Murnick D.E. Efficient, stable, corona discharge 172 nm xenon excimer light source // J. Appl. Phys. 2003. V. 94. № 6. P. 3722–3731.
8. Акишев Ю.С., Дементьев А.В., Каральник В.Б., Монич А.Е., Трушкин Н.И. О сходстве и различии барьерной короны переменного тока с положительной и отрицательной коронами постоянного тока и барьерным разрядом // Физика плазмы. 2003. Т. 29. № 1. С. 90–100.
9. Тарасенко В.Ф., Тоболкин А.С., Башагуров О.Г., Кузнецов А.А., Скакун В.С. Широкополосное излучение плазмы инертных газов при возбуждении модулированным ВЧ-разрядом // Известия высш. учебн. завед. Физика. 1995. № 10. С. 32–36.
10. Arnold E., Lomaev M.I., Skakun V.S., Tarasenko V.F., Tkachev A.N., Shitts D.V., Yakovlenko S.I. Formation of a Volume Discharge in a Xenon Single–Barrier Excilamp with a Low-Curvature Cathode // Laser Physics. 2002. V. 12. № 5. P. 1–7.
11. Arnold E., Lomaev M.I., Lisenko A.A., Skakun V.S., Tarasenko V.F., Tkachev A.N., Shitts D.V., Yakovlenko S.I. Volume discharge formation in a one-barrier xenon excimer lamp // Laser Physics. 2004. V. 14. № 6. P. 809–817.

12. Ломаев М.И., Скакун В.С., Тарасенко В.Ф., Шитц Д.В., Лисенко А.А. Безоконная эксилампа вакуумного ультрафиолетового диапазона // Письма в ЖТФ. 2006. Т. 32. В. 13. С. 74–79.
13. Lisenko A.A., Lomaev M.I., Skakun V.S., Tarasenko V.F. Effective emission of Xe2 and Kr2 bounded by a dielectric barrier // Phys. Scr. 2007. V.76. № 2. P. 211–215.
14. Ломаев М.И., Скакун В.С., Тарасенко В.Ф., Шитц Д.В. Одно- и двухбарьерные эксилампы ВУФ диапазона на димерах ксенона // ЖТФ. 2008. Т. 78. В. 2. С. 103–107.
15. Шитц Д.В., Скакун В.С., Тарасенко В.Ф. Комплекс эксиламп на димерах ксенона для проточного фотореактора // Приборы и техника эксперимента. 2008. № 5. С. 129–131.
16. Lomaev M.I., Lisenko A.A., Skakun V.S., Shitz D.V., Tarasenko V.F., Matsumoto Y. Dielectric Barrier Discharge Excimer Light Source // Japanese Patent № 3887641.
17. Tkachev A.N., Yakovlenko S.I. Simulation of plasma cathode layer parameters of effective excilamps // Laser Physics. 2002. V. 12. № 7. P. 1022–1028.
18. Shao T., Tarasenko V.F., Zhang C., Rybka D.V., Kostyrya I.D., Kozyrev A.V., Yan P., Kozhevnikov V.Yu. Runaway electrons and x-rays from a corona discharge in atmospheric pressure air // New Journal of Physics. 2011. V. 13. Р. 113305.