УДК: 531.7.082.5:535.42/44

Новый метод дифракционного контроля малых угловых и линейных перемещений

Полный текст на elibrary.ru

Публикация в Journal of Optical Technology

Ссылка для цитирования:

Назаров В.Н., Соколов Ю.А. Новый метод дифракционного контроля малых угловых и линейных перемещений // Оптический журнал. 2013. Т. 80. № 12. С. 53–59.

Nazarov V. N., Sokolov Yu. A. New method of diffraction monitoring of small angular and linear displacements [in Russian] // Opticheskii Zhurnal. 2013. V. 80. № 12. P. 53–59.

Ссылка на англоязычную версию:

V. N. Nazarov and Yu. A. Sokolov, "New method of diffraction monitoring of small angular and linear displacements," Journal of Optical Technology. 80(12), 756-760 (2013). https://doi.org/10.1364/JOT.80.000756

Аннотация:

Рассмотрен новый метод дифракционного контроля малых угловых и линейных перемещений на основе схемы дифракционного интерферометра, в которой оба интерферирующих волновых фронта формируются дифракционными элементами. Получена математическая модель, описывающая распределение интенсивности излучения в плоскости регистрации, хорошо согласующаяся с результатами экспериментов. Результаты расчетов показали возможность создания компактных дифракционного автоколлиматора и индикатора линейных перемещений, обладающих высокой потенциальной разрешающей способностью (до 0,01" и 2 нм соответственно) с возможностью изменения чувствительности и диапазона измерений абсолютных значений угловых и линейных величин более чем на порядок.

Ключевые слова:

метод дифракционного контроля, измерение малых перемещений

Коды OCIS: 050.1940; 260.3160; 120.4630; 120.3180

Список источников:

1. Назаров В.Н., Линьков А.Е. Дифракционные методы контроля геометрических параметров и пространственного положения объектов // Оптический журнал. 2002. т. 69. № 2. с. 76—81.
2. Иванов А. Н., Назаров В. Н. Исследование дифракции на “зеркальной” апертуре для контроля геометрических параметров объектов // Научно технический вестник СПбГУ ИТМО. 2006. – В. 2 (26). С. 129–133.
3. Иванов А.Н., Носова М.Д. Использование двойной дифракции для контроля угловых перемещений // Тез. докл. X Междунар. конф. “Прикладная оптика-2012”. СПб, 2012. Т. 1. С. 172–175.
4. Гуревич С.Б., Константинов В.Б., Соколов В.К., Черных Д.Ф. Передача и обработка информации голографическими методами. М.: Сов. радио, 1978. 304 с.
5. Назаров В.Н., Соколов Ю.А. Дифракционный метод контроля угловых и линейных перемещений / Назаров В.Н., Соколов Ю.А. // Известия вузов. Приборостроение. 2012. Т. 55. № 4. С. 78–82.