Исследование возможности уменьшения угловых погрешностей круговых оптических шкал, изготовленных способом обратной фотолитографии

Полный текст на elibrary.ru

Публикация в Journal of Optical Technology

Ссылка для цитирования:

Кручинин Д.Ю. Исследование возможности уменьшения угловых погрешностей круговых оптических шкал, изготовленных способом обратной фотолитографии // Оптический журнал. 2013. Т. 80. № 8. С. 42–45.

Kruchinin D. Yu. Study of the possibility of reducing the angular errors of circular optical scales fabricated by lift-off photolithography [in Russian] // Opticheskii Zhurnal. 2013. Т. 80. № 8. P. 42–45.

Ссылка на англоязычную версию:

D. Yu. Kruchinin, "Study of the possibility of reducing the angular errors of circular optical scales fabricated by lift-off photolithography," Journal of Optical Technology. 80(8), 499-501 (2013). https://doi.org/10.1364/JOT.80.000499

Аннотация:

Рассмотрены возможности уменьшения угловых погрешностей круговых оптических шкал, изготовленных способом обратной фотолитографии с использованием фотошаблонов, синтезированных с помощью лазерного генератора изображений CLWS-300.

Ключевые слова:

круговая оптическая шкала, лимб, угловая погрешность, лазерный генератор изображений

Список источников:

1. Кручинин Д.Ю. Способ изготовления оптических шкал обратной фотолитографией // Патент России № 2370799. 2009.

2. Кручинин Д.Ю. Фотолитография в производстве круговых оптических шкал на Уральском оптикомеханическом заводе // Оптический журнал. 2008. Т. 75. № 4. С. 92-94.

3. Кручинин Д.Ю., Анисимова О.В., Тырышкина А.С. Исследование угловых погрешностей лимбов, изготовленных методом обратной фотолитографии // Оптический журнал. 2009. Т. 76. № 6. С. 70-74.

4. Кручинин Д.Ю. Исследование влияния углов падения лучей актиничного излучения на поверхность фотошаблона на угловые погрешности лимбов, изготовленных методом обратной фотолитографии // Оптический журнал. 2010. Т. 77. № 6. С. 46-50.

5. Абрамов Ю.Ф., Кирьянов В.П., Кирьянов А.В., Кокарев СА., Кручинин Д.Ю., Чугуй Ю.В., Яковлев О.Б. Модернизация оптического делительного производства Уральского оптико-механического завода на основе современных лазерно-компьютерных и фотолитографических технологий // Оптический журнал. 2006. Т. 73. № 8. С. 61-65.

6. Bartik S.A., Frizin S.E., Kiryanov V.P., Kiryanjv A.V., Kokarev SA., Kruchinin D.Y., Nikitin V.G., Yakovlev O.B. Development of a technique for the determination of metrological parameters of technological system CLWS-300/C for synthesis of high precision angular measuring structures // 10 th IMEKO TC7 International Symposium. Saint-Petersburg, 2004. P. 316-320.

7. Кручинин Д.Ю., Яковлев О.Б. Исследование угловых погрешностей круговых оптических шкал, изготовленных с использованием лазерного генератора изображений CLWS-300 // Оптический журнал. 2011. Т. 78. № 6. С. 47-50.

8. Кручинин Д.Ю., Яковлев О.Б., Андронов М.П. Исследование влияния условий синтеза круговых оптических шкал, изготовленных с использованием лазерного генератора изображений CLWS-300, на их угловые погрешности // Оптический журнал. 2012. Т. 79. № 7. С. 41-44.

9. Кручинин Д.Ю., Яковлев О.Б. Фотошаблоны для производства оптических шкал // Тр. Междунар. конфер. «Прикладная оптика-2006». СПб., Т. 2. С. 111-114.