УДК: 535.345.673: 517.51

Сравнительный анализ критериев устойчивости интерференционных покрытий

Полный текст на elibrary.ru

Публикация в Journal of Optical Technology

Ссылка для цитирования:

Котликов Е.Н., Новикова Ю.А. Сравнительный анализ критериев устойчивости интерференционных покрытий // Оптический журнал. 2013. Т. 80. № 9. С. 61–67. Kotlikov E. N. and Novikova Yu. A. Comparative analysis of the stability criteria of interference coatings // Opticheskii Zhurnal. 2013. V. 80. №9. P. 61–67.

Ссылка на англоязычную версию:

E. N. Kotlikov and Yu. A. Novikova, "Comparative analysis of the stability criteria of interference coatings," Journal of Optical Technology. 80(9), 571-576 (2013). https://doi.org/10.1364/JOT.80.000571

Аннотация:

В работе проведен сравнительный анализ критериев устойчивости спектральных характеристик многослойных диэлектрических систем к возможным изменениям оптической толщины отдельных слоев. Предложена методика, в основе которой лежит введенный критерий устойчивости синтезированных интерференционных покрытий, позволяющий исследовать трансформацию спектров при реальных ошибках в толщинах пленок. На примерах некоторых типов интерференционных покрытий проведен сравнительный анализ известных и предложенной методик и показано, что введенный критерий точнее описывает устойчивость покрытия и позволяет корректировать его спектры в процессе изготовления.

Ключевые слова:

интерференционные покрытия, устойчивость покрытия, функция качества, функция устойчивости

Список источников:

1. Фурман Ш.А. Тонкослойные оптические покрытия. Л.: Машиностроение, 1977. 264 с.

2. Введенский В.Д., Столов Е.Г. Синтез интерференционных оптических покрытий // Оптико-механическая промышленность. 1981. № 7. С. 59-61.

3. Яковлев П.П., Мешков Б.Б. Проектирование интерференционных покрытий. М.: Машиностроение, 1987. 192 с.

4. Котликов Е.Н., Прокашев В.Н., Хонинев А.Н., Хонинева Е.В. Синтез светоделительных покрытий // Оптический журнал. 2001. Т. 68. № 8. С. 49-52

5. Котликов Е.Н., Варфоломеев Г.А., Тропин А.Н. Анализ стабильности спектроделительных интерференционных покрытий // Сб. докл. Завалишенские чтения. СПб ГУАП, 2007. С. 137-140.

6. Балышев К.В., Путилин Э.С., Старовойтов С.Ф. Исследование воспроизводимости выходных параметров многослойных диэлектрических систем во время изготовления // Оптический журнал. Т. 65. № 3. 1998. С. 39 -43.

7. Котликов Е.Н., Тропин А.Н. Критерий устойчивости спектральных характеристик многослойных интерференционных покрытий // Оптический журнал. 2009. Т. 76. № 3. С. 60-64.

8. Котликов Е.Н., Новикова Ю.А., Моцарь Е.В., Тропин А.Н. Анализ устойчивости спектральных характеристик многослойных оптических покрытий // Опт. и спектр. 2011. Т. 111. № 3. С. 525-531.

9. Котликов Е.Н., Новикова Ю.А. Программное обеспечение для анализа устойчивости и коррекции интерференционных покрытий // Информационно-управляющие системы. 2013. Т.1. C. 41-46.