УДК: 535.417, 535.317, 778.38

Синтез голограмм-проекторов для фотолитографии на неплоских поверхностях

Корешев С.Н., Никаноров О.В., Смородинов Д.С., Громов А.Д.

Полный текст на elibrary.ru

Публикация в Journal of Optical Technology

Ссылка для цитирования:

Корешев С.Н., Никаноров О.В., Смородинов Д.С., Громов А.Д. Синтез голограмм-проекторов для фотолитографии на неплоских поверхностях // Оптический журнал. 2015. Т. 82. № 2. С. 37–42.

Koreshev S.N., Nikanorov O.V., Smorodinov D.S., Gromov A.D. Synthesizing hologram–projectors for photolithography on nonplanar surfaces [in Russian] // Opticheskii Zhurnal. 2015. V. 82. № 2. P. 37–42.

Ссылка на англоязычную версию:

S. N. Koreshev, O. V. Nikanorov, D. S. Smorodinov, and A. D. Gromov, "Synthesizing hologram–projectors for photolithography on nonplanar surfaces," Journal of Optical Technology. 82(2), 90-94 (2015). https://doi.org/10.1364/JOT.82.000090

Аннотация:

Рассмотрено влияние бинаризации и диффузной подсветки объекта на глубину резкости изображения, восстанавливаемого с помощью синтезированных голограмм-проекторов Френеля. Приведены результаты экспериментального исследования, подтверждающие возможность и эффективность использования специализированного программного комплекса синтеза и восстановления голограмм-проекторов Френеля для синтеза голограмм-проекторов, предназначенных для реализации голографического варианта фотолитографического процесса на неплоских поверхностях.

Ключевые слова:

синтез голограмм, криволинейная поверхность, фотолитография, объёмный объект, голограмма-проектор Френеля, глубина резкости, бинаризация, диффузная подсветка

Коды OCIS: 090.0090

Список источников:

1. Корешев С.Н., Ратушный В.П. Использование метода голографии для получения изображений двумерных объектов при решении задач фотолитографии высокого разрешения // Оптический журнал. 2004. Т. 71. № 10. С. 32-39.
2. Koreshev S.N., Ratushnyi V.P. Holographic method for obtaining images with limiting high resolution for extreme shot-wave lithography problems // Proc. SPIE. 2004. V. 5290. P. 221-232.
3. Clube F., Gray S., Struchen D., Tisserand J., Malfoy S., Darbellay Y. Holographic microlithography // Opt. Eng. 1995. V. 34. № 9. P. 2724-2730.
4. Корешев С.Н., Ратушный В.П. Голограммы сфокусированного изображения в задаче высокоразрешающей проекционной голографической фотолитографии // Опт. и спектр. 2006. Т. 101. № 6. С. 1038-1042.
5. Jacobsen C., Howells M. Projection X-ray lithography using computer-generated holograms: a study of compatibility with proximity lithography // Appl. Phys. 1992. V. 71. P. 2993-3001.
6. Naullenau P.P., Salmassi F., Cullikson E.M., Liddle J.A. Design and fabrication of a high-efficiency extremeultraviolet binary phase-only computer-generated hologram // Appl. Opt. 2007. V. 46. №14. P. 2581-2585.
7. Корешев С.Н., Никаноров О.В., Ратушный В.П. Восстановление синтезированных голограмм-проекторов Френеля при углах падения восстанавливающей волны, превышающих угол падения опорной волны при синтезе голограммы // Опт. и спектр. 2011. Т. 111. № 1. С. 156-161.
8. Корешев С.Н., Никаноров О.В., Иванов Ю.А., Козулин И.А. Программный комплекс для синтеза и цифрового восстановления голограмм-проекторов: влияние параметров синтеза на качество восстановленного изображения // Оптический журнал. 2010. Т. 77. № 1. С. 42-48.
9. Данилина Т.И. Технология тонкопленочных микросхем / Учебное пособие. Томск: Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники, 2007. 21 с.
10. Франсон М. Оптика спеклов. М.: Мир, 1980. 172 с.
11. Цуканова Г.И., Карпова Г.В., Багдасарова О.В., Карпов В.Г., Кривопустова Е.В., Ежова К.В., под редакцией профессора Шехонина А.А. Прикладная оптика. Часть 2 / Учебно-методическое пособие. СПб: СПб ГИТМО (ТУ), 2003. С. 32.
12. Корешев С.Н., Никаноров О.В., Козулин И.А. Выбор параметров синтеза голограмм-проекторов для фотолитографии // Оптический журнал. 2008. Т. 75. № 9. С. 29-34.
13. Корешев С.Н., Смородинов Д.С., Громов А.Д., Никаноров О.В. Обеспечение равной интенсивности элементов изображений бинарных объектов, восстанавливаемых с помощью синтезированных голограмм-проекторов // Опт. и спектр. 2013. Т. 114. № 2. С. 150-155.