en
Назад
УДК: 681.7.064
Влияние углового расположения фотошаблона при синтезе круговых оптических шкал на их угловые погрешности
Полный текст «Оптического журнала»
Полный текст на elibrary.ru
Публикация в Journal of Optical Technology
Кручинин Д.Ю., Фарафонтова Е.П. Влияние углового расположения фотошаблона при синтезе круговых оптических шкал на их угловые погрешности // Оптический журнал. 2015. Т. 82. № 6. С. 72–76.
Kruchinin D.Yu., Farafontova E.P. How the angular position of a photomask affects the angular errors of circular optical scales when they are being produced [in Russian] // Opticheskii Zhurnal. 2015. V. 82. № 6. P. 72–76.
D. Yu. Kruchinin and E. P. Farafontova, "How the angular position of a photomask affects the angular errors of circular optical scales when they are being produced," Journal of Optical Technology. 82(6), 385-387 (2015). https://doi.org/10.1364/JOT.82.000385
Изучено влияние углового расположения фотошаблона при синтезе круговых оптических шкал, изготовленных с помощью этого фотошаблона способом обратной фотолитографии, на их накопленную угловую погрешность. С помощью фазо-статистического метода исследованы угловые погрешности круговых оптических шкал и определены погрешности, вносимые совместно генератором изображений и операцией экспонирования в угловые погрешности шкалы.
круговая шкала, лимб, фотошаблон, генератор изображений, подложка, экспонирование, угловая погрешность, установка контроля лимбов
Коды OCIS: 110.5220
Список источников:1. Кручинин Д.Ю. Способ изготовления оптических шкал обратной фотолитографией // Патент России № 2370799. 2009.
2. Кручинин Д.Ю. Фотолитография в производстве круговых оптических шкал на Уральском оптико-механическом заводе // Оптический журнал. 2008. Т. 75. № 4. С. 92−94.
3. Абрамов Ю.Ф., Кирьянов В.П., Кирьянов А.В., Кокарев С.А., Кручинин Д.Ю., Чугуй Ю.В., Яковлев О.Б. Модернизация оптического делительного производства Уральского оптико-механического завода на основе современных лазерно-компьютерных и фотолитографических технологий // Оптический журнал. 2006. Т. 73. № 8. С. 61−65.
4. Кручинин Д.Ю., Яковлев О.Б. Исследование угловых погрешностей круговых оптических шкал, изготовленных с использованием лазерного генератора изображений CLWS-300 // Оптический журнал. 2011. Т. 78. № 6. С. 47−50.
5. Кручинин Д.Ю., Яковлев О.Б., Андронов М.П. Исследование влияния условий синтеза круговых оптических шкал, изготовленных с использованием лазерного генератора изображений CLWS-300, на их угловые погрешности // Оптический журнал. 2012. Т. 79. № 7. С. 41−44.
6. Кручинин Д.Ю., Анисимова О.В., Тырышкина А.С. Исследование угловых погрешностей лимбов, изготовленных методом обратной фотолитографии // Оптический журнал. 2009. Т. 76. № 6. С. 70−74.
7. Кручинин Д.Ю. Исследование влияния углов падения лучей актиничного излучения на поверхность фотошаблона на угловые погрешности лимбов, изготовленных методом обратной фотолитографии // Оптический журнал. 2010. Т. 77. № 6. С. 46−50.
8. Кручинин Д.Ю. Исследование возможности уменьшения угловых погрешностей круговых оптических шкал, изготовленных способом обратной фотолитографии // Оптический журнал. 2013. Т. 80. № 8. С. 42−45.
9. Bartik S.A., Frizin S.E., Kiryanov V.P., Kiryanov A.V., Kokarev S.A., Kruchinin D.Y., Nikitin V.G., Yakovlev O.B. Development of a technique for the determination of metrological parameters of technological system CLWS-300/С for synthesis of high precision angular measuring structures // 10th IMEKO TC7 Intern. Symp. Saint-Petersburg, 2004. P. 316−320.