УДК: 535.8

Аддитивная технология изготовления фазовых дифракционных оптических элементов

Скиданов Р.В., Моисеев О.Ю., Ганчевская С.В.

Полный текст на elibrary.ru

Публикация в Journal of Optical Technology

Ссылка для цитирования:

Скиданов Р.В., Моисеев О.Ю., Ганчевская С.В. Аддитивная технология изготовления фазовых дифракционных оптических элементов // Оптический журнал. 2016. Т. 83. № 1. С. 32–35.

Skidanov R.V., Moiseev O.Yu., Ganchevskaya S.V. Additive process for fabrication of phased optical diffraction elements [in Russian] // Opticheskii Zhurnal. 2016. V. 83. № 1. P. 32–35.

Ссылка на англоязычную версию:

R. V. Skidanov, O. Yu. Moiseev, and S. V. Ganchevskaya, "Additive process for fabrication of phased optical diffraction elements," Journal of Optical Technology. 83(1), 23-25 (2016). https://doi.org/10.1364/JOT.83.000023

Аннотация:

Представлена технология изготовления дифракционных оптических элементов, основанная на локальном термохимическом окислении тонкой пленки хрома. Неокислившийся хром после процедуры записи удаляется, в результате формируется микрорельеф, состоящий из прозрачного оксида хрома.

Ключевые слова:

термохимическая запись, дифракционный оптический элемент, оксид хрома

Коды OCIS: 220.4000

Список источников:

1. Либенсон М.Н. Лазерно-индуцированные оптические и термические процессы в конденсированных средах и их взаимовлияние. СПб.: Наука, 2007. 423 с.
2. Poleschuk A.G., Korolkov V.P. Laser writing systems and technologies for fabrication of binary and continuousrelief diffractive optical elements // Proc. SPIE. 2007. V. 6732. 67320X, DOI: 10.1117/12.751930.
3. Вейко В.П. Лазерная обработка пленочных элементов. Л.: Машиностроение, 1986. 248 с.
4. Вейко В.П., Котов Г.А., Либенсон М.Н., Никитин М.Н. Термохимическое действие лазерного излучения // Доклады АН СССР. 1973. Т. 208. № 3. С. 587–590.
5. Вейко В.П., Корольков В.П., Полещук А.Г., Саметов А.Р., Шахно Е. А., Ярчук М.В. Исследование пространственного разрешения лазерной термохимической технологии записи дифракционных микроструктур // Квант. электрон. 2011. Т. 41. № 7. С. 631–636.
6. Veiko V.P., Shakhno E.A., Poleshchuk A.G., Korolkov V.P., Matyzhonok V.N. Local laser oxidation of thin metal films: Ultra-resolution in theory and in practice // J. Laser Micro/Nanoengineering. 2008. V. 3. № 3. P. 201–205.
7. Котов Г.А., Либенсон М.Н. Кинетика роста тонких окисных пленок на поверхности металла при импульсном нагревании // Электронная технология. 1973. V. 4. № 3. С. 56–64.
8. Бункин Ф.В., Кириченко Н.А., Лукьянчук Б.С. Термохимическое действие лазерного излучения // УФН. 1982. Т. 138. № 1. С. 45–93.
9. Вейко В.П., Котов Г.А., Шандыбина Г.Д. Термохимический метод лазерной обработки тонких металлических пленок // Труды ЛИТМО. Л., 1980. С. 106–112.
10. Вейко В.П., Котов Г.А., Либенсон М.Н., Никитин М.Н. Термохимические методы получения рисунков микросхем при помощи излучения ОКГ // Сб. тр. школы “Физико-технические основы лазерной технологии”. Л.: ЛДНТП, 1970. С. 43–46.
11. Вейко В.П., Котлецов Б.Н., Либенсон М.Н. Лазерная литография. Л.: Знание, 1971. 43 с.
12. Metev S.M., Savtchenko S.K., Stamenov K.V., Veiko V.P., Kotov G.A., Shandibina G.D. Thermochemical action of laser radiation on thin metal films // IEEE J. Quantum Electronics. 1981. V. 7. № 10. P. 2004–2007.
13. Metev S.M., Savtchenko S.K., Stamenov K.V. Pattern generation by laser-induced oxidation of thin metal films // J. Phys. D: Appl. Phys. 1980. V. 13. P. L75–L76.
14. Gerasimov R.B., Metev S.M., Savtchenko S.K. Optimization of the process of laser-induced thermochemical image recording // J. Phys. D: Appl. Phys. 1984. V. 17. P. 1671.