УДК: 53.087.92, 681.7.064

Исследование влияния использования иммерсионной жидкости на угловые погрешности лимбов, изготовленных методом обратной фотолитографии

Полный текст на elibrary.ru

Публикация в Journal of Optical Technology

Ссылка для цитирования:

Кручинин Д.Ю., Фарафонтова Е.П. Исследование влияния использования иммерсионной жидкости на угловые погрешности лимбов, изготовленных методом обратной фотолитографии // Оптический журнал. 2016. Т. 83. № 1. С. 90–93.

Kruchinin D.Yu., Farafontova E.P. A study of the effect of the use of immersion fluid on the angular errors in dials fabricated by lift-off photolithography [in Russian] // Opticheskii Zhurnal. 2016. V. 83. № 1. P. 90–93.

Ссылка на англоязычную версию:

D. Yu. Kruchinin and E. P. Farafontova, "A study of the effect of the use of immersion fluid on the angular errors in dials fabricated by lift-off photolithography," Journal of Optical Technology. 83(1), 69-71 (2016). https://doi.org/10.1364/JOT.83.000069

Аннотация:

Рассмотрены результаты исследования влияния иммерсионной жидкости, используемой при контактном экспонировании в технологическом процессе обратной фотолитографии, на угловые погрешности круговых оптических шкал (лимбов).

Ключевые слова:

круговая оптическая шкала (лимб), угловая погрешность, обратная фотолитография

Коды OCIS: 110.5220

Список источников:

1. Кручинин Д.Ю., Анисимова О.В., Тырышкина А.С. Исследование угловых погрешностей лимбов, изготовленных методом обратной фотолитографии // Оптический журнал. 2009. Т. 76. № 6. С. 70–74.
2. Кручинин Д.Ю. Способ изготовления оптических шкал обратной фотолитографией // Патент России № 2370799. 2009.
3. Абрамов Ю.Ф., Кирьянов В.П., Кирьянов А.В., Кокарев С.А., Кручинин Д.Ю., Чугуй Ю.В., Яковлев О.Б. Модернизация оптического делительного производства Уральского оптико-механического завода на основе современных лазерно-компьютерных и фотолитографических технологий // Оптический журнал. 2006. Т. 73. № 8. С. 61–65.
4. Кручинин Д.Ю. Исследование влияния изменения углов падения лучей актиничного излучения на поверхность фотошаблона на угловые погрешности лимбов, изготовленных методом обратной фотолитографии // Оптический журнал. 2010. Т. 77. № 6. С. 46–50.
5. Bartik S.A., Frizin S.E., Kiryanov V.P., Kiryanov A.V., Kokarev S.A., Kruchinin D.Y., Nikitin V.G., Yakovlev O.B. Development of a technique for the determination of metrological parameters of technological system CLWS-300/С for synthesis of high precision angular measuring structures // 10 th IMEKO TC7 Intern. Symp. Saint-Petersburg, 2004. P. 316–320.