ITMO
en/ en

ISSN: 1023-5086

en/

ISSN: 1023-5086

Научно-технический

Оптический журнал

Полнотекстовый перевод журнала на английский язык издаётся Optica Publishing Group под названием “Journal of Optical Technology“

Подача статьи Подать статью
Больше информации Назад

УДК: 535.417, 535.317, 778.38

Методы увеличения разрешающей способности и глубины резкости синтезированных голограмм-проекторов

Ссылка для цитирования:

Корешев С.Н., Никаноров О.В., Фролова М.А., Новицкая Я.А., Хисамов Р.И. Методы увеличения разрешающей способности и глубины резкости синтезированных голограмм-проекторов // Оптический журнал. 2016. Т. 83. № 12. С. 62–68.

 

Koreshev S.N., Nikanorov O.V., Frolova M.A., Novitskaya Ya.A., Khisamov R.I. Methods of increasing the resolving power and depth of field of synthesized hologram-projectors [in Russian] // Opticheskii Zhurnal. 2016. V. 83. № 12. P. 62–68.

Ссылка на англоязычную версию:

S. N. Koreshev, O. V. Nikanorov, M. A. Frolova, Ya. A. Novitskaya, and R. I. Khisamov, "Methods of increasing the resolving power and depth of field of synthesized hologram-projectors," Journal of Optical Technology. 83(12), 760-764 (2016). https://doi.org/10.1364/JOT.83.000760

Аннотация:

Рассмотрена проблема повышения разрешающей способности синтезированных голограмм-проекторов Френеля и увеличения глубины резкости восстанавливаемых с их помощью изображений. Работа выполнена применительно к случаю голограмм двумерного объекта, например, фотолитографического фотошаблона или рабочей зоны оптического пинцета. Установлена эффективность использования известного в традиционной проекционной фотолитографии метода фазовой коррекции эффекта близости для повышения разрешающей способности синтезированных голограмм-проекторов Френеля. Предложен метод увеличения глубины резкости изображений, восстанавливаемых с помощью синтезированных голограмм-проекторов Френеля, основанный на представлении комплексной амплитуды объектной волны при синтезе голограммы в виде суммы комплексных амплитуд нескольких объектных волн, формируемых объектом при различных расстояниях от него до голограммы, отличающихся на величину, не превышающую глубину резкости изображения одиночного объекта.

Ключевые слова:

голография, фотолитография, синтезированная голограмма, разрешающая способность, глубина резкости восстановленного изображения, фазовая коррекция эффекта близости

Коды OCIS: 090.0090

Список источников:

1. Корешев С.Н., Смородинов Д.С., Никаноров О.В. Влияние метода представления объекта на изображающие свойства синтезированных голограмм // Оптический журнал. 2015. Т. 82. № 4. С. 66–73.
2. Моро У. Микролитография. М.: Мир, 1990. 1240 с.
3. Корешев С.Н., Никаноров О.В., Громов А.Д. Метод синтеза голограмм-проекторов, основанный на разбиении структуры объекта на типовые элементы, и программный комплекс для его реализации // Оптический журнал. 2012. Т. 79. № 12. С. 30–37.
4. Корешев С.Н., Никаноров О.В., Козулин И.А. Выбор параметров синтеза голограмм-проекторов для фотолитографии // Оптический журнал. 2008. Т. 75. № 9. С. 29–34.
5. Корешев С.Н., Никаноров О.В., Смородинов Д.С., Громов А.Д. Синтез голограмм-проекторов для фотолитографии на неплоских поверхностях // Оптический журнал. 2015. Т. 82. № 2. С. 37–42.
6. Франсон М. Оптика спеклов. М.: Мир, 1980. 172 с.
7. Цуканова Г.И., Карпова Г.В., Багдасарова О.В., Карпов В.Г., Кривопустова Е.В., Ежова К.В. Прикладная оптика. Ч. 2. Учебно-методическое пособие / Под редакцией Шехонина А.А. СПб: СПб ГИТМО (ТУ), 2003. 32 с.