УДК: 535.417, 535.317, 778.38
Методы увеличения разрешающей способности и глубины резкости синтезированных голограмм-проекторов
Полный текст «Оптического журнала»
Полный текст на elibrary.ru
Публикация в Journal of Optical Technology
Корешев С.Н., Никаноров О.В., Фролова М.А., Новицкая Я.А., Хисамов Р.И. Методы увеличения разрешающей способности и глубины резкости синтезированных голограмм-проекторов // Оптический журнал. 2016. Т. 83. № 12. С. 62–68.
Koreshev S.N., Nikanorov O.V., Frolova M.A., Novitskaya Ya.A., Khisamov R.I. Methods of increasing the resolving power and depth of field of synthesized hologram-projectors [in Russian] // Opticheskii Zhurnal. 2016. V. 83. № 12. P. 62–68.
S. N. Koreshev, O. V. Nikanorov, M. A. Frolova, Ya. A. Novitskaya, and R. I. Khisamov, "Methods of increasing the resolving power and depth of field of synthesized hologram-projectors," Journal of Optical Technology. 83(12), 760-764 (2016). https://doi.org/10.1364/JOT.83.000760
Рассмотрена проблема повышения разрешающей способности синтезированных голограмм-проекторов Френеля и увеличения глубины резкости восстанавливаемых с их помощью изображений. Работа выполнена применительно к случаю голограмм двумерного объекта, например, фотолитографического фотошаблона или рабочей зоны оптического пинцета. Установлена эффективность использования известного в традиционной проекционной фотолитографии метода фазовой коррекции эффекта близости для повышения разрешающей способности синтезированных голограмм-проекторов Френеля. Предложен метод увеличения глубины резкости изображений, восстанавливаемых с помощью синтезированных голограмм-проекторов Френеля, основанный на представлении комплексной амплитуды объектной волны при синтезе голограммы в виде суммы комплексных амплитуд нескольких объектных волн, формируемых объектом при различных расстояниях от него до голограммы, отличающихся на величину, не превышающую глубину резкости изображения одиночного объекта.
голография, фотолитография, синтезированная голограмма, разрешающая способность, глубина резкости восстановленного изображения, фазовая коррекция эффекта близости
Коды OCIS: 090.0090
Список источников:1. Корешев С.Н., Смородинов Д.С., Никаноров О.В. Влияние метода представления объекта на изображающие свойства синтезированных голограмм // Оптический журнал. 2015. Т. 82. № 4. С. 66–73.
2. Моро У. Микролитография. М.: Мир, 1990. 1240 с.
3. Корешев С.Н., Никаноров О.В., Громов А.Д. Метод синтеза голограмм-проекторов, основанный на разбиении структуры объекта на типовые элементы, и программный комплекс для его реализации // Оптический журнал. 2012. Т. 79. № 12. С. 30–37.
4. Корешев С.Н., Никаноров О.В., Козулин И.А. Выбор параметров синтеза голограмм-проекторов для фотолитографии // Оптический журнал. 2008. Т. 75. № 9. С. 29–34.
5. Корешев С.Н., Никаноров О.В., Смородинов Д.С., Громов А.Д. Синтез голограмм-проекторов для фотолитографии на неплоских поверхностях // Оптический журнал. 2015. Т. 82. № 2. С. 37–42.
6. Франсон М. Оптика спеклов. М.: Мир, 1980. 172 с.
7. Цуканова Г.И., Карпова Г.В., Багдасарова О.В., Карпов В.Г., Кривопустова Е.В., Ежова К.В. Прикладная оптика. Ч. 2. Учебно-методическое пособие / Под редакцией Шехонина А.А. СПб: СПб ГИТМО (ТУ), 2003. 32 с.