УДК: 539.234

Оптические и эксплуатационные характеристики пленок фторидов и оксидов, полученных испарением в вакууме

Кириленко В.В., Жигарновский Б.М., Малкерова И.П., Самохов В.А., Бейрахов А.Г., Михайлов А.В., Баранов А.Н.

Полный текст на elibrary.ru

Публикация в Journal of Optical Technology

Ссылка для цитирования:

Кириленко В.В., Жигарновский Б.М., Малкерова И.П., Самохов В.А., Бейрахов А.Г., Михайлов А.В., Баранов А.Н. Оптические и эксплуатационные характеристики пленок фторидов и оксидов, полученных испарением в вакууме // Оптический журнал. 2016. Т. 83. № 9. С. 72–77.

Kirilenko V.V., Zhigarnovskiy B.M., Malkerova I.P., Samokhov V.A., Beirakhov A.G., Mikhailov A.V., Baranov A.N. Optical and performance properties of fluoride and oxide films produced by vacuum evaporation [in Russian] // Opticheskii Zhurnal. 2016. V. 83. № 9. P. 72–77.

Ссылка на англоязычную версию:

V. V. Kirilenko, B. M. Zhigarnovskiĭ, I. P. Malkerova, V. A. Samokhov, A. G. Beĭrakhov, A. V. Mikhaĭlov, and A. N. Baranov, "Optical and performance properties of fluoride and oxide films produced by vacuum evaporation," Journal of Optical Technology. 83(9), 565-568 (2016). https://doi.org/10.1364/JOT.83.000565

Аннотация:

Рассмотрены вопросы оптимизации технологических приемов осаждения слоев фторидов и оксидов металлов на оптические элементы. Приведены данные оптических и эксплуатационных характеристик полученных пленок, изготовленных методом испарения в высоком вакууме на серийно выпускаемом оборудовании. Отмечено влияние температуры подложки, остаточного и рабочего давления в вакуумной камере и режима работы ионного источника на перечисленные характеристики.

Ключевые слова:

оптические покрытия, оптические характеристики, эксплуатационные характеристики

Благодарность:

Работа выполнена при финансовой поддержке Министерства образования и науки РФ (соглашение № 14.579.21.0015).

Коды OCIS: 160.4760; 310.1860

Список источников:

1. Pulker H.K. Characterization of optical thin films // Appl. Opt. 1979. V. 18. № 19. P. 1969–1977.
2. Ritter E. Properties of optical film materials // Appl. Opt. 1991. V. 20. № 1. P. 21–25.
3. Котликов Е.Н., Иванов В.А., Погарева В.Г., Хонинева Е.В. Исследование оптических констант пленок из теллуридов свинца и германия // Опт. спектр. 2000. Т. 88. № 5. С. 795–977.
4. Гусев А.Г., Афанасьева А.Г., Валидов Р.М., Несмелов Е.А. Оптико-физические свойства пленок фторида висмута // ОМП. 1990. № 5. С. 55–57.
5. Крылова Т.Н. Интерференционные покрытия. Л.: Машиностроение, 1973. 224 с.
6. Хевенс О.С. Измерение оптических констант тонких пленок / Физика тонких пленок. Т. 2. М.: Мир, 1967. С. 136–185.
7. Гайнутдинов И.С., Несмелов Е.А., Михайлов А.В., Иванов В.П., Абзалова Г.И. Свойства и методы получения интерференционных покрытий для оптического приборостроения. Казань: Фэн, 2003. 424 с.
8. Соколова Р.С. Светопоглощение в тонких слоях окислов тория, гафния и циркония в ультрафиолетовой области спектра // ОМП. 1974. № 10. С. 20–24.
9. Миллер В.Т., Первеев А.Ф. Устройство для ионной очистки подложек и полировки слоев // Оптический журнал. 1993. Т. 60. № 2. С. 72–75.
10. Dumas L. Optical properties of magnesium fluoride thin films produced by argon ion-beam assisted deposition // J. Vac. Sci. Technol. A Vacuum, Surfaces, Film. 2002. V. 20. № 1. P. 102–106.
11. Ritter E. Optical film materials and their applications // Appl. Opt. 1976. V. 15. № 10. P. 2318–2327.
12. ОСТ 3-1901-95. Покрытия оптических деталей. Типы, основные параметры и методы контроля. М.: ВНИИМС, 1995. 166 c.