Метод увеличения глубины резкости изображений плоских транспарантов, восстановленных с помощью синтезированных голограмм

Корешев С.Н., Смородинов Д.С., Фролова М.А.

Полный текст на elibrary.ru

Публикация в Journal of Optical Technology

Ссылка для цитирования:

Корешев С.Н., Смородинов Д.С., Фролова М.А. Метод увеличения глубины резкости изображений плоских транспарантов, восстановленных с помощью синтезированных голограмм // Оптический журнал. 2018. Т. 85. № 11. С. 50–57. http://doi.org/10.17586/1023-5086-2018-85-11-50-57

Koreshev S.N., Smorodinov D.S., Frolova M.A. Method for increasing the depth of field of images of flat transparencies reconstructed using synthesized holograms [in Russian] // Opticheskii Zhurnal. 2018. V. 85. № 11. P. 50–57. http://doi.org/10.17586/1023-5086-2018-85-11-50-57

Ссылка на англоязычную версию:

S. N. Koreshev, D. S. Smorodinov, and M. A. Frolova, "Method for increasing the depth of field of images of flat transparencies reconstructed using synthesized holograms," Journal of Optical Technology. 85(11), 696-702 (2018). https://doi.org/10.1364/JOT.85.000696

Аннотация:

Рассмотрено влияние параметров синтеза голограммы-проектора на распределения комплексной амплитуды в плоскостях синтеза голограммы и восстановленного изображения. Предложен и исследован метод увеличения глубины резкости восстанавливаемых изображений. Метод основан на представлении объектной волны при синтезе голограммы в виде суперпозиции объектных волн, исходящих от двух одинаковых объектов, расположенных на различных расстояниях от плоскости синтеза голограммы. Работа выполнена методом математического моделирования процессов синтеза и восстановления голограммы применительно к случаю синтеза голограмм-проекторов двумерных бинарных объектов для фотолитографии.

Ключевые слова:

глубина резкости, разность фаз, синфазность, синтез голограмм, увеличение глубины резкости, фотолитография

Благодарность:

Работа выполнена при частичной поддержке Министерства образования и науки РФ в рамках госзадания (тема № 3.2506.2017/4.6).

Коды OCIS: 090.0090

Список источников:

1. Clube F., Gray S., Struchen D., Tisserand J., Malfoy S., Darbellay Y. Holographic microlithography // Opt. Eng. 1995. V. 34. № 9. P. 2724–2730.
2. Maiden A., McWilliam R., Purvis A., Johnson S., Williams G.L., Seed N.L., Ivey P.A. Nonplanar photolithography with computer-generated holograms // Opt. Lett. 2005. V. 30. № 11. P. 1300–1302.
3. Bay C., Hübner N., Freeman J., Wilkinson T. Maskless photolithography via holographic optical projection // Opt. Lett. 2010. V. 35. № 13. P. 2230–2232.
4. Кольер Р., Беркхард К., Лин Л. Оптическая голография. М.: Мир, 1973. 686 с.
5. Levenson M.D., Johnson K.M., Hanchett V.C., Chiang K. Projection photolithography by wave-front conjugation // JOSA. 1981. V. 71. № 6. P. 737–743.
6. Martinez-Leon L., Clemente P., Mori Y., Climent V., Lancis J., Tajahuerce E. Single-pixel digital holography with phaseencoded illumination // Opt. Exp. 2017. V. 25. № 5. P. 4975–4984.
7. Корешев С.Н., Никаноров О.В., Смородинов Д.С. Изображающие свойства дискретных голограмм. I. Влияние дискретности голограммы на восстановленное изображение // Оптический журнал. 2014. Т. 81. № 3. С. 14–19.
8. Zhang Y., Lu Q., Ge B. Elimination of zero-order diffraction in digital off-axis holography // Opt. Commun. 2004. V. 240. № 4–6. P. 261–267.
9. Chen G., Lin C., Kuo M., Chang C. Numerical suppression of zero-order image in digital holography // Opt. Exp. 2007. V. 15. № 14. P. 8851–8856.
10. Корешев С.Н., Никаноров О.В., Смородинов Д.С. Изображающие свойства дискретных голограмм. II. Влияние модификации структуры голограммы и высокой, превышающей частоту Найквиста, несущей пространственной частоты голограммной структуры на восстановленное изображение // Оптический журнал. 2014. Т. 81. № 4. С. 48–53.
11. Корешев С.Н., Никаноров О.В., Фролова М.А., Новицкая Я.А., Хисамов Р.И. Методы увеличения разрешающей способности и глубины резкости синтезированных голограмм-проекторов // Оптический журнал. 2016. Т. 83. № 12. С. 62–68.
12. Франсон М. Оптика спеклов. М.: Мир, 1980. 172 с.
13. Борн М., Вольф Э. Основы оптики. М.: Наука, 1973. 720 с.
14. Корешев С.Н., Смородинов Д.С., Никаноров О.В., Громов А.Д. Синтез голограмм-проекторов для фотолитографии на неплоских поверхностях // Оптический журнал. 2015. Т. 82. № 2. С. 37–42.
15. Lohmann A.W. Variable Fresnel zone pattern // Appl. Opt. 1967. V. 6. № 9. P. 1567–1570.
16. Greenberg M.D. Advanced engineering mathematics (2nd ed.). Upper Saddle River: Prentice Hall, 1998. 646 p.
17. Корешев С.Н., Никаноров О.В., Громов А.Д. Метод синтеза голограмм-проекторов, основанный на разбиении структуры объекта на типовые элементы, и программный комплекс для его реализации // Оптический журнал. 2012. Т. 79. № 12. С. 30–37.
18. Корешев С.Н., Никаноров О.В., Ратушный В.П. Восстановление синтезированных голограмм-проекторов Френеля при углах падения восстанавливающей волны, превышающих угол падения опорной волны при синтезе голограммы // Опт. спектр. 2011. Т. 111. № 1. С. 143–148.
19. Корешев С.Н., Никаноров О.В., Смородинов Д.С., Громов А.Д. Влияние метода представления объекта на изображающие свойства синтезированных голограмм // Оптический журнал. 2015. Т. 82. № 4. С. 66–73.
20. Корешев С.Н., Смородинов Д.С., Фролова М.А. Влияние периода дискретизации объекта на глубину резкости изображений, восстанавливаемых с помощью синтезированных голограмм-проекторов Френеля // Оптический журнал. 2017. Т. 84. № 11. С. 69–72.