ITMO
en/ en

ISSN: 1023-5086

en/

ISSN: 1023-5086

Научно-технический

Оптический журнал

Полнотекстовый перевод журнала на английский язык издаётся Optica Publishing Group под названием “Journal of Optical Technology“

Подача статьи Подать статью
Больше информации Назад

DOI: 10.17586/1023-5086-2018-85-03-69-71

УДК: 539.23

Оптические и эксплуатационные характеристики алмазоподобных пленок, осажденных из ионного пучка источника с эффектом Холла

Баранов А.Н., Михайлов А.В.

Полный текст «Оптического журнала»

Полный текст на elibrary.ru

Публикация в Journal of Optical Technology

Ссылка для цитирования:

Баранов А.Н., Михайлов А.В. Оптические и эксплуатационные характеристики алмазоподобных пленок, осажденных из ионного пучка источника с эффектом Холла // Оптический журнал. 2018. Т. 85. № 3. С. 69–71. http://doi.org/10.17586/1023-5086-2018-85-03-69-71

 

Baranov A.N., Mikhailov A.V. Optical and operational characteristics of diamond-like films deposited using a Hall ion beam source [in Russian] // Opticheskii Zhurnal. 2018. V. 85. № 3. P. 69–71. http://doi.org/10.17586/1023-5086-2018-85-03-69-71

Ссылка на англоязычную версию:

A. N. Baranov and A. V. Mikhaĭlov, "Optical and operational characteristics of diamond-like films deposited using a Hall ion beam source," Journal of Optical Technology. 85(3), 179-181 (2018). https://doi.org/10.1364/JOT.85.000179

Аннотация:

Представлены данные об алмазоподобных углеродных пленках, полученных осаждением из ионного пучка, образованного источником с эффектом Холла. Определены зависимости скорости осаждения пленок от анодного напряжения и тока источника. Найдены диапазоны значений тока анода, оптимальные для синтеза просветляющих однослойных покрытий на оптических элементах из германия и кремния. Показано, что осажденные на обе стороны элемента из германия алмазоподобные углеродные пленки обеспечивают при высокой механической прочности максимальный коэффициент пропускания 99,6% в диапазоне длин волн 3–5 мкм.

Ключевые слова:

оптические покрытия, оптические характеристики, эксплуатационные характеристики, алмазоподобные пленки

Коды OCIS: 310.1860, 310.1210, 160.4760

Список источников:

1. Robertson J. Diamond-like amorphous carbon // Mater. Sci. Eng. R Reports. 2002. V. 37. № 4–6. P. 129–281.
2. Bewilogua K., Hofmann D. History of diamond-like carbon films — From first experiments to worldwide applications // Surf. Coatings Technol. 2014. V. 242. P. 214–225.
3. Shabalin A., Amann M., Kishinevsky M., Nauman K., Quinn C. Industrial ion sources and their application for DLC coating // SVC — 42nd Annual Technical Conf. Proc. Chicago, Illinois, 1999.
4. Sattel S., Gießen T., Roth H., Scheib M., Samlenski R., Brenn R., Ehrhardt H., Robertson J. Temperature dependence of formation of highly tetrahedral α-C:H // Diamond and Related Materials. 1996. V. 5. P. 425–428.
5. Kaufman H.R., Robinson R.S., Seddon R.I. End-Hall ion source // J. Vac. Sci. Technol. A. 1987. V. 5. P. 2081–2084.
6. Macleod H. Thin-film optical filters. 4th Ed. Boca Raton, FL: CRC Press, 2010. 800 p.