Контроль двухкоординатного позиционирования с помощью оптического спектрального кодирования

Лихачев И.Г., Пустовой В.И., Светиков В.В., Красовский В.И.

Полный текст на elibrary.ru

Публикация в Journal of Optical Technology

Ссылка для цитирования:

Лихачёв И.Г., Пустовой В.И., Светиков В.В., Красовский В.И. Контроль двухкоординатного позиционирования с помощью оптического спектрального кодирования // Оптический журнал. 2018. Т. 85. № 5. С. 3–6. http://doi.org/10.17586/1023-5086-2018-85-05-03-06

Likhachev I.G., Pustovoy V.I., Svetikov V.V., Krasovskiy V.I. Monitoring two-coordinate positioning by means of optical spectral coding [in Russian] // Opticheskii Zhurnal. 2018. V. 85. № 5. P. 3–6. http://doi.org/10.17586/1023-5086-2018-85-05-03-06

Ссылка на англоязычную версию:

I. G. Likhachev, V. I. Pustovoĭ, V. V. Svetikov, and V. I. Krasovskiĭ, "Monitoring two-coordinate positioning by means of optical spectral coding," Journal of Optical Technology. 85(5), 255-258 (2018). https://doi.org/10.1364/JOT.85.000255

Аннотация:

На основе спектрального кодирования широкополосного излучения разработана методика, позволяющая контролировать положение двухкоординатного столика и управлять его перемещением с нанометровой точностью. Отличительной особенностью методики является то, что она позволяет контролировать абсолютное положение столика без предварительной калибровки. Подобные устройства могут представлять интерес для любых высокоточных систем, где требуется перемещение зонда в заданную точку образца с нанометровой точностью.

Ключевые слова:

нанопозиционирование, интерферометр Фабри–Перо, спектральное кодирование, волоконно-оптический

Коды OCIS: 060.2370, 070.4340, 120.2230, 240.5770

Список источников:

1. Sixt P., Falco L., Dierauer P., Lehmann H.W. Microstructure fiber-tip sensor with spectral encoding // Proc. SPIE. 1988. V. 1011. P. 213–225.
2. Egorov S.A., Mamaev A.N., Likhachiev I.G. High reliable, self calibrated signal processing method for interferometric fiber-optic sensors // Proc. SPIE. 1995. V. 2594. P. 193–197.
3. Никитин П.И., Горшков Б.Г., Валейко М.В., Рогов С.И. Спектрально-фазовый интерференционный метод регистрации биохимических реакций на поверхности // Квант. электрон. 2000. Т. 30. № 12. С. 1099–1104.
4. Miridonov S.V., Shlyagin M.G., Khomenko A.V., Spirin V.V. Digital demodulation algorithm for white-light fiber-optic interferometric sensors // Proc. SPIE. 2002. V. 4777. P. 136–142.
5. Jedrzejewska-Szczerska M., Bogdanowiczet R., Gnyba M., Hypszer R., Kosmowski B.B. Fiber-optic temperature sensor using low-coherence interferometry // Eur. Phys. J. Special Topics. 2008. V. 154. P. 107–111.
6. Ushakov N., Liokumovich L. Resolution limits of extrinsic Fabry-Perot interferometric displacement sensors utilizing wavelength scanning interrogation // Appl. Opt. 2014. V. 53. № 23. P. 5092–5099.
7. Лихачёв И.Г., Пустовой В.И., Красовский В.И. Измерение наноразмерных неровностей с помощью интерферометрии белого света // Оптический журнал. 2017. T. 84. № 12. С. 38–44.
8. www.inject-laser.ru
9. www.physikinstrumente.com