Оптические свойства плёнок из сложных фторидов, полученных методом электронно-лучевого испарения

Глебов В.Н., Горячук И.О., Дуброва Г.А., Малютин А.М., Соколов В.И.

Полный текст на elibrary.ru

Публикация в Journal of Optical Technology

Ссылка для цитирования:

Глебов В.Н., Горячук И.О., Дуброва Г.А., Малютин А.М., Соколов В.И. Оптические свойства плёнок из сложных фторидов, полученных методом электронно-лучевого испарения // Оптический журнал. 2020. Т. 87. № 2. С. 64–68. http://doi.org/10.17586/1023-5086-2020-87-02-64-68

Glebov V.N., Goryachuk I.O., Dubrova G.A., Malyutin A.M., Sokolov V.I. Optical properties of complex fluoride films obtained using vacuum electron-beam evaporation [in Russian] // Opticheskii Zhurnal. 2020. V. 87. № 2. P. 64–68. http://doi.org/10.17586/1023-5086-2020-87-02-64-68

Ссылка на англоязычную версию:

V. N. Glebov, I. O. Goryachuk, G. A. Dubrova, A. M. Malyutin, and V. I. Sokolov, "Optical properties of complex fluoride films obtained using vacuum electron-beam evaporation," Journal of Optical Technology. 87(2), 117-120 (2020). https://doi.org/10.1364/JOT.87.000117

Аннотация:

Постоянно растущие требования к функциональным и эксплуатационным характеристикам оптических тонкоплёночных покрытий стимулируют исследование свойств плёнок из новых плёнкообразующих материалов, к которым относятся сложные фториды. Интерес к таким материалам обусловлен, в частности, необходимостью создания покрытий с низким показателем преломления и малыми оптическими потерями в широкой области спектра. В настоящей работе исследованы оптические свойства (показатели преломления n и коэффициенты экстинкции k) плёнок из сложных фторидов BaY2F8, CaY2F8, SrY2F8, MgBaF4, полученных методом электронно-лучевого испарения в вакууме. Проведено сравнение свойств этих плёнок со свойствами плёнок из простых фторидов BaF2, CaF2, SrF2, YF3, MgF2, полученных при таких же режимах испарения.

Ключевые слова:

оптические покрытия, сложные фториды, электронно-лучевое испарение, оптические свойства

Благодарность:

Работа выполнена при поддержке Министерства науки и высшего образования РФ в рамках Государственного задания ФНИЦ «Кристаллография и фотоника» РАН в части создания фторидных плёнок и гранта РФФИ № 16-29-05407 в части создания подложек с низким показателем преломления для формирования оптических волноводов из перфторированных полимеров.

Коды OCIS: 160.4760, 310.1860

Список источников:

1. Посыпайко В.И., Алексеева Е.А. Диаграммы плавкости солевых систем. Справочник. Ч. 1. М.: Металлургия, 1977. С. 416.
2. Голота А.Ф. Физическая химия неорганических фторидов для тонкослойной оптики // Автореферат докт. дисс. Саратов: Ставропольский ГУ, 1999. 36 с.
3. Зинченко В.Ф., Кочерба Г.I., Тимухин Е. В. и др. Разробка и властивости фторидних материалив и покриттив для оптичних систем що функционують в екстремальних умовах // «Висник» УМТ. 2009. № 1 (2). С. 66–86.
4. Bergman J.G., Crain G.R., Guggenheim H. Linear and nonlinear optical properties of ferroelectric BaMgF4 and BaZnF4 // J. Appl. Phys. 1975. V. 63. P. 4645.
5. Aizawa K., Ishiwara H. Formation of ferroelectric BaMgF4 film on GaAs substrates // Jap. J. Appl. Phys. 1992. V. 31. P. 3232–3234.
6. Matsukawa H., Simono T., Hirano N. et al. A study on fabrication of BaMgF4 thin film toward frequency-conversion device in UV/VUV region // Proc. SPIE. 2011. V. 7917. P. 79171Q.
7. Котликов Е.Н., Новикова Ю.А., Юрковец Е.В. Метод определения оптических констант пленок на поглощающих подложках // Оптический журнал. 2018. Т. 85. № 10. С. 64–69.
8. Ефимов А.И. Свойства неорганических соединений. Справочник. Л.: Химия, 1983. С. 392.
9. Соколов В.И., Глебов В.Н., Малютин А.М. и др. Исследование оптических свойств многослойных диэлектрических структур методом призменного возбуждения волноводных мод // Квантовая электроника. 2015. Т. 45. № 9. С. 868–872.
10. Rodríguez-de Marcos L., Larruquert J.I., Aznárez J. A. et al. Optical constants of SrF2 thin films in the 25–780-eV spectral range // J. Appl. Phys. 2013. V. 113. 143501.
11. Feldman A., Horowitz D., Waxier R. et al. Optical materials characterization final technical report. Washington: NBS, 1979. P. 63.
12. Соколов В.И., Бойко В.Э., Горячук И.О. и др. Синтез и исследование оптических свойств сополимеров перфтор-2,2-диметил-1,3-диоксола и перфторпропилвинилового эфира // Известия академии наук. Серия Химическая. 2017. № 7. С. 1284–1289.
13. Tikhonravov A.V., Trubetskov M.K. Automated design of WDM filters in optical interference coatings // JCA Technical Digest. Washington OSA. 2001. P. WD3-1–WD3-3.
14. Раков А.В. Спектрофотометрия тонкоплёночных полупроводниковых структур. М.: Советское радио, 1975. С. 71–76.