Влияние способа чистки на качество подготовки поверхностей оптических деталей

Алешина Ю.С., Кручинин Д.Ю., Фарафонтова Е.П.

Полный текст на elibrary.ru

Публикация в Journal of Optical Technology

Ссылка для цитирования:

Алешина Ю.С., Кручинин Д.Ю., Фарафонтова Е.П. Влияние способа чистки на качество подготовки поверхностей оптических деталей // Оптический журнал. 2021. Т. 88. № 7. С. 77–81. http://doi.org/10.17586/1023-5086-2021-88-07-77-81

Aleshina Yu.S., Kruchinin D.Yu., Farafontova E.P. Influence of the cleaning method on the quality of preparation of surfaces of optical components [in Russian] // Opticheskii Zhurnal. 2021. V. 88. № 7. P. 77–81. http://doi.org/10.17586/1023-5086-2021-88-07-77-81

Ссылка на англоязычную версию:

Yu. S. Aleshina, D. Yu. Kruchinin, and E. P. Farafontova, "Influence of the cleaning method on the quality of preparation of surfaces of optical components," Journal of Optical Technology. 88(7), 406-408 (2021). https://doi.org/10.1364/JOT.88.000406

Аннотация:

Рассмотрены проблемные вопросы, связанные с операцией чистки (подготовки поверхности) оптических деталей на производстве. Многие рассмотренные способы являются устаревшими и не удовлетворяют требованиям технологий, проводимых в чистых помещениях. Установлено, что гидромеханический способ чистки позволяет получить поверхности оптических деталей с гидрофильными свойствами и его можно применять в условиях чистых помещений при изготовлении деталей, имеющих нулевые классы чистоты полированных поверхностей.

Ключевые слова:

чистка оптической детали, подготовка поверхности оптической детали, гидромеханический способ

Коды OCIS: 220.4610

Список источников:

1. Сумм Б.Д., Горюнов Ю.В. Физико-химические основы смачивания и растекания. М.: Химия, 1976. 232 с.
2. Готра З.Ю. Технология микроэлектронных устройств. Справочник. М.: Радио и связь, 1991. 528 с.
3. Абрамзон А.А. Поверхностно-активные вещества: свойства и применение. Л.: Химия, 1981. 304 с.
4. ОСТ3-6420-88. Детали оптические. Типовые технологические процессы чистки.
5. ОСТ3-6209-86. Шкалы и сетки фотографические. Типовые технологические процессы получения с применением позитивных фоторезистов на основе диазосоединений.
6. Моро У. Микролитография. М.: Мир, 1990. 1239 с.
7. Кручинин Д.Ю. Способ изготовления оптических шкал обратной фотолитографией // Патент России № 2370799. 2009.
8. РТМ3-1652-84. Лимбы кодовые. Типовые технологические процессы изготовления контактным копированием.
9. Прегер Г.-Ю. Технологические аспекты изготовления оптических шкал и сеток // Йенское обозрение. 1986. № 2. С. 86–91.
10. ОСТ3-5103-90. Детали оптические. Типовой технологический процесс нанесения покрытий из алюминия, хрома и титана.
11. Кручинин Д.Ю., Яковлев О.Б. Способ склеивания оптических деталей // Патент России № 2454379. 2012.
12. Кручинин Д.Ю., Яковлев О.Б., Андронов М.П. Склеивание оптических деталей, имеющих нулевые классы чистоты полированных поверхностей // Оптический журнал. 2011. Т. 78. № 4. С. 73–75.
13. ОСТ3-6419-88. Детали оптические. Типовые технологические процессы промывки.
14. Справочник технолога-оптика / Под ред. Окатова М.А. СПб.: Политехника, 2004. 686 с.
15. Молчанова О.С. Чистка оптических деталей: методические рекомендации. Л.: ГОИ, 1972. 61 с.