Елисеева Ю. А.

Козырев А.А., Гордеева М.В., Бурцев Д.Н., Елисеева Ю.А. Использование RGB данных оптической светлопольной микроскопии для оперативного контроля чистоты поверхности активных элементов полупроводниковых пластин в производственном планарном цикле // Оптический журнал. 2020. Т. 87. № 6. С. 76–88.

http://doi.org/10.17586/1023-5086-2020-87-06-76-88

Kozyrev A.A., Goreeva M.V., Burtsev D.N., Eliseeva Yu.A. Using the RGB data of bright-field optical microscopy to efficiently monitor the surface cleanliness of the active elements of semiconductor wafers in the planar production cycle [in Russian] // Opticheskii Zhurnal. 2020. Т. 87. № 6. С. 76–88. http://doi.org/10.17586/1023-5086-2020-87-06-76-88