ITMO
en/ en

ISSN: 1023-5086

en/

ISSN: 1023-5086

Научно-технический

Оптический журнал

Полнотекстовый перевод журнала на английский язык издаётся Optica Publishing Group под названием “Journal of Optical Technology“

Подача статьи Подать статью
Больше информации Назад

Ковалев Михаил Сергеевич

Кандидат технических наук

Место работы
Московский государственный технический университет им. Н.Э. Баумана, Москва, Россия

Статьи

Одиноков С.Б., Сагателян Г.Р., Ковалев М.С., Бугорков К.Н. Влияние скин-эффекта на структуру рельефно-фазовых оптических элементов, получаемых методом плазмохимического травления // Оптический журнал. 2019. Т. 86. № 9. С. 78–86. http://doi.org/10.17586/1023-5086-2019-86-09-78-86

 

Odinokov S.B., Sagatelyan G.R., Kovalev M.S., Bugorkov K.N. Influence of the skin effect on the structure of relief–phase optical elements obtained by plasma–chemical etching [in Russian] // Opticheskii Zhurnal. 2019. V. 86. № 9. P. 78–86. http://doi.org/10.17586/1023-5086-2019-86-09-78-86

Аннотация

Одиноков С.Б., Сагателян Г.Р., Ковалев М.С., Бугорков К.Н. Особенности плазмохимического травления кварцевого стекла при формировании глубокого рельефа на прецизионных деталях приборов // Оптический журнал. 2019. Т. 86. № 5. С. 70–77. http://doi.org/10.17586/1023-5086-2019-86-05-70-77

 

Odinokov S.B., Sagatelyan G.R., Kovalev M.S., Bugorkov K.N. Features of the plasma-chemical etching of quartz glass during the formation of deep surface relief on high-precision components of devices [in Russian] // Opticheskii Zhurnal. 2019. V. 86. № 5. P. 70–77. http://doi.org/10.17586/1023-5086-2019-86-05-70-77

Аннотация