Назад
Ковалев
Михаил
Сергеевич
Кандидат технических наук
| Место работы |
| Московский государственный технический университет им. Н.Э. Баумана, Москва, Россия |
|
Статьи
|
Одиноков С.Б., Сагателян Г.Р., Ковалев М.С., Бугорков К.Н. Влияние скин-эффекта на структуру рельефно-фазовых оптических элементов, получаемых методом плазмохимического травления // Оптический журнал. 2019. Т. 86. № 9. С. 78–86. http://doi.org/10.17586/1023-5086-2019-86-09-78-86
Odinokov S.B., Sagatelyan G.R., Kovalev M.S., Bugorkov K.N. Influence of the skin effect on the structure of relief–phase optical elements obtained by plasma–chemical etching [in Russian] // Opticheskii Zhurnal. 2019. V. 86. № 9. P. 78–86. http://doi.org/10.17586/1023-5086-2019-86-09-78-86
|
Аннотация
|
|
Одиноков С.Б., Сагателян Г.Р., Ковалев М.С., Бугорков К.Н. Особенности плазмохимического травления кварцевого стекла при формировании глубокого рельефа на прецизионных деталях приборов // Оптический журнал. 2019. Т. 86. № 5. С. 70–77. http://doi.org/10.17586/1023-5086-2019-86-05-70-77
Odinokov S.B., Sagatelyan G.R., Kovalev M.S., Bugorkov K.N. Features of the plasma-chemical etching of quartz glass during the formation of deep surface relief on high-precision components of devices [in Russian] // Opticheskii Zhurnal. 2019. V. 86. № 5. P. 70–77. http://doi.org/10.17586/1023-5086-2019-86-05-70-77
|
Аннотация
|
