Назад
Полетаев
Сергей
Дмитриевич
Кандидат физико-математических наук
Место работы |
Институт систем обработки изображений РАН — филиал ФНИЦ «Кристаллография и фотоника» РАН, Самара, Россия |
|
E-mail: sergpolet@gmail.com
ScopusID: 56537032200
ORCID: 0000-0003-3581-1316
Статьи
Полетаев С.Д., Любимов А.И. Формирование рельефных периодических структур в тонких плёнках хрома с применением лазерно-интерференционной литографии // Оптический журнал. 2022. Т. 89. № 6. С. 73–80. http://doi.org/10.17586/1023-5086-2022-89-06-73-80
Poletaev S.D., Lyubimov A.I. Formation of periodic relief structures in thin chromium films using laser interference lithography [in Russian] // Opticheskii Zhurnal. 2022. V. 89. № 6. P. 73–80. http://doi.org/ 10.17586/1023-5086-2022-89-06-73-80
|
Аннотация
|