Back
Kozyrev,
Аnton
А.
PhD (Engineering)
| Affiliation |
| LLC "NPP "Injekt", Saratov |
| National Research Nuclear University MEPhI , Moscow, Russia |
|
E-mail: equilibriummm@yandex.ru
Articles
|
Козырев А.А., Гордеева М.В., Бурцев Д.Н., Елисеева Ю.А. Использование RGB данных оптической светлопольной микроскопии для оперативного контроля чистоты поверхности активных элементов полупроводниковых пластин в производственном планарном цикле // Оптический журнал. 2020. Т. 87. № 6. С. 76–88.
http://doi.org/10.17586/1023-5086-2020-87-06-76-88
Kozyrev A.A., Goreeva M.V., Burtsev D.N., Eliseeva Yu.A. Using the RGB data of bright-field optical microscopy to efficiently monitor the surface cleanliness of the active elements of semiconductor wafers in the planar production cycle [in Russian] // Opticheskii Zhurnal. 2020. Т. 87. № 6. С. 76–88. http://doi.org/10.17586/1023-5086-2020-87-06-76-88
|
Abstract
|
|
Козырев А.А., Лебедев А.Д. Влияние количества аргона в ионном пучке кислорода на оптические характеристики плёнок диоксида титана, полученных методом электронно-лучевого испарения с ионным ассистированием // Оптический журнал. 2019. Т. 86. № 10. С. 77–82. http://doi.org/10.17586/1023-5086-2019-86-10-77-82
Kozyrev A.A., Lebedev A.D. Effect of the amount of argon in an oxygen ion beam on the optical characteristics of titanium dioxide films obtained via ion-assisted electron beam evaporation [in Russian] // Opticheskii Zhurnal. 2019. V. 86. № 10. P. 77–82. http://doi.org/10.17586/1023-5086-2019-86-10-77-82
|
Abstract
|
