Применение цифровой голографической микроскопии для исследования тонких прозрачных пленок

Тишко Д.Н., Тишко Т.В., Титарь В.П. Применение цифровой голографической микроскопии для исследования тонких прозрачных пленок // Оптический журнал. 2009. Т. 76. № 3. С. 40–43.

Tishko D.N., Tishko T.V., Titar V.P. Using digital holographic microscopy to study transparent thin films [in Russian] // Opticheskii Zhurnal. 2009. V. 76. № 3. P. 40–43.

D. N. Tishko, T. V. Tishko, and V. P. Titar’, "Using digital holographic microscopy to study transparent thin films," Journal of Optical Technology. 76 (3), 147-149 (2009). https://doi.org/10.1364/JOT.76.000147

В данной работе впервые приведены экспериментальные результаты применения цифрового голографического интерференционного микроскопа (ЦГИМ) для исследования тонких (с толщинами меньше длины волны видимого света) прозрачных пленок на прозрачных подложках. ЦГИМ позволяет не только получать трехмерное изображение поверхности пленок, но и проводить количественные измерения. В качестве пленок использованы покрытия из нитрида алюминия (AlN) на акриловых подложках, которые могут быть применены для защиты изделий из акрила от воздействия окружающей среды. Исследованы поверхностные дефекты, имеющиеся на поверхности покрытий и возникшие в результате воздействия ультрафиолетового излучения на покрытие и подложку. Проведено сравнение возможностей метода классической оптической микроскопии и метода цифровой голографической микроскопии для исследования тонких прозрачных пленок. Полученные результаты подтвердили эффективность применения ЦГИМ для подобных исследований.