ITMO
en/ en

ISSN: 1023-5086

en/

ISSN: 1023-5086

Научно-технический

Оптический журнал

Полнотекстовый перевод журнала на английский язык издаётся Optica Publishing Group под названием “Journal of Optical Technology“

Подача статьи Подать статью
Больше информации Назад

УДК: 621.3.04977.002.5

Оптическое приборостроение для микроэлектроники

Гуревич Э.С., Точицкий Я.И., Цуран В.И.

Полный текст на elibrary.ru

Публикация в Journal of Optical Technology

Ссылка для цитирования:

Гуревич Э.С., Точицкий Я.И., Цуран В.И. Оптическое приборостроение для микроэлектроники // Оптический журнал. 2013. Т. 80. № 5. С. 38–43.

 

Gurevich E.S., Tochitskiy Ya.I., Tsuran V.I. Optical instrumentation for microelectronics [in Russian] // Opticheskii Zhurnal. 2013. V. 80. № 5. P. 38–43.

Ссылка на англоязычную версию:

É. S. Gurevich, Ya. I. Tochitskiĭ, and V. I. Tsuran, "Optical instrumentation for microelectronics," Journal of Optical Technology. 80(5), 289-293 (2013). https://doi.org/10.1364/JOT.80.000289

Аннотация:

Статья посвящена работам Конструкторского бюро точного электронного машиностроения (КБТЭМ-OMO), которое уже более 50 лет обеспечивает микроэлектронику оптико-механическим оборудованием. Благодаря применению этого оборудования размеры элементов интегральных схем уменьшились в 30 раз (с 5 мкм до 180 нм), точность иx расположения на всей площади кристалла увеличилась в 200 раз (с 2 мкм до 10 нм). Первые интегральные схемы с десятками транзисторов превратились в сложные функциональные системы с миллиардами транзисторов.

Ключевые слова:

оптико-механическое оборудование для фотолитографии, микролитография

Список источников:

1. Lin Burn J. Optical Lithography: Here is why // SPIE Press. 2009. 469 p.
2. Валиев К.А. Физические основы субмикронной литографии в микроэлектронике. М.: Радио и связь, 1984. 256 с.
3. Точицкий Я.И. Оптические технологии микро- и наноэлектроники. Минск: РИВШ, 2010. 298 с.
4. Глазков И.М., Райхман Я.А. Генераторы изображений в производстве интегральных микросхем. Минск: Наука и техника, 1981. 144 с.
5. Гуревич Э.С., Псикова Л.П., Фокова Г.В. Проекционный объектив с увеличением –0,1 // АС № 1177788.
6. Гуревич Э.С., Цуран В.И., Тихончук Г.И., Богуш А.Л. Проекционный объектив с увеличением –1/5× // Патент Республики Беларусь № 5713. 2003.
7. Фокова Г.В, Гуревич Э.С. Осветитель для проекционной оптической печати // Патент Республики Беларусь № 7688. 2006.
8. Гуревич Э.С., Тихончук Г.И., Матюшков В.Е., Богуш А.Л., Агейченко А.С., Цуран В.И. Проекционная система экспонирования с увеличением 1× // Патент Кореи № 0586062. 2006.