Интерферометр фазового сдвига для контроля плоских и сферических оптических деталей

Вишняков Г.Н., Левин Г.Г., Минаев В.Л., Цельмина И.Ю. Интерферометр фазового сдвига для контроля плоских и сферических оптических деталей // Оптический журнал. 2013. Т. 80. № 5. С. 76–82.

Vishnyakov G.N., Levin G.G., Minaev V.L., Tselmina I.Yu. Phase-shifting interferometer for monitoring flat and spherical optical components [in Russian] // Opticheskii Zhurnal. 2013. V. 80. № 5. P. 76–82.

G. N. Vishnyakov, G. G. Levin, V. L. Minaev, and I. Y. Tselmina, "Phase-shifting interferometer for monitoring flat and spherical optical components," Journal of Optical Technology. 80(5), 316-320 (2013). https://doi.org/10.1364/JOT.80.000316

Рассмотрен автоматизированный интерферометр, позволяющий измерять профиль поверхности плоских и сферических (с большим радиусом кривизны) оптических деталей. Диаметр поля зрения интерферометра до 30 мм. Вертикальная компоновка основных оптических элементов интерферометра позволила добиться его компактности и малой чувствительности к вибрациям. Автоматическое измерение профиля поверхности производится с помощью 9-ти шагового метода фазового сдвига. Приведены результаты экспериментального испытания интерферометра и его технические характеристики.

Работа выполнена при финансовой поддержке Министерства образования и науки Российской Федерации по государственному контракту № 16.552.11.7056 от 11 июля 2012 г.