УДК: 544.032.65, 537.9

Особенности лазерного окисления тонких пленок титана

Полный текст на elibrary.ru

Публикация в Journal of Optical Technology

Ссылка для цитирования:

Шахно Е.А., Синев Д.А., Кулажкин А.М. Особенности лазерного окисления тонких пленок титана // Оптический журнал. 2014. Т. 81. № 5. С. 93–98.

Shakhno E.A., Sinev D.A., Kulazhkin A.M. Features of laser oxidation of thin films of titanium [in Russian] // Opticheskii Zhurnal. 2014. V. 81. № 5. P. 93–98.

Ссылка на англоязычную версию:

E. A. Shakhno, D. A. Sinev, and A. M. Kulazhkin, "Features of laser oxidation of thin films of titanium," Journal of Optical Technology. 81(5), 298-302 (2014). https://doi.org/10.1364/JOT.81.000298

Аннотация:

Рассмотрена возможность прямой одноэтапной термохимической записи на тонких пленках титана, основанной на различии оптических свойств пленки в облученных и необлученных областях. Предложена методика теоретического анализа процесса окисления тонких металлических пленок с учетом изменения поглощательной способности пленки во время облучения. Определены основные закономерности процесса лазерного окисления пленок титана и, в том числе, показано, что для термохимической записи предпочтительно применение возможно более тонких пленок.

Ключевые слова:

лазерное окисление, тонкие металлические пленки, поглощательная способность

Благодарность:

Работа выполнена при государственной финансовой поддержке ведущих университетов Российской Федерации (субсидия 074-U01).
Работа поддержана инициативными проектами РФФИ № 12-02-00974-а и № 13-02-00971-a. Авторы благодарят проф. Вейко В.П. за ценные обсуждения, а также аспирантов кафедры лазерных технологий и экологического приборостроения Кочетову В.А. и Кочетова А.Д. за помощь в проведении тепловизионных измерений.

Коды OCIS: 350.3390, 310.6860

Список источников:

1. Poleshchuk A. G., Korolkov V. P. Laser writing systems and technologies for fabrication of binary and continuous relief diffractive optical elements // Proc. SPIE. 2007. V. 6732. P. 67320X1-10.
2. Ogata S., Tada M., Yoneda M. Electron-beam writing system and its application to large and high-density diffractive optic elements // Appl. Opt. 1994. V. 33. P. 2032–2038.
3. Вейко В.П., Синев Д.А., Шахно Е.А., Полещук А.Г., Саметов А.Р., Седухин А.Г. Исследование особенностей многопучковой лазерной термохимической записи дифракционных микроструктур // Компьютерная оптика. 2012. Т. 36. № 4. С. 562–571.
4. Либенсон М.Н. Лазерно-индуцированные оптические и термические процессы в конденсированных средах и их взаимное влияние. СПб.: Наука, 2007. 423 с.
5. Gorbunov A.A., Eichler H., Pompe W., Huey B. Lateral self-limitation in the laser-induced oxidation of ultrathin metal films // Appl. Phys. Lett. 1996. V. 69. № 19. P. 2816–2818.
6. Veiko V. P., Shakhno E.A., Poleshchuk A.G., Korolkov V.P., Matyzhonok V.N. Local laser oxidation of thin metal films: ultra-resolution in theory and in practice // J. of Laser Micro/Nanoengineering. 2008. V. 3. № 3. P. 201–205.
7. Вейко В.П., Котов Г.А., Крутенкова Е.А. К расчету термических искажений рисунка при лазерной обработке пленок // Физика и химия обработки материалов. 1980. № 5. С. 37–43.
8. Refractive index database/ Mikhail Polyanskiy. – электрон. дан. – Режим доступа: http://refractiveindex.info (date: 11.8.2013), свободный. – Загл. с экрана.
9. Dakka A., Lafait J., Abd-Lefdil M., Sella C. Optical study of titanium dioxide thin films prepared by R.F. sputtering // Moroccan Journal of Condensed matter. 1999. V. 2. № 1. P. 153–155.