Назад
Шахно
Елена
Аркадьевна
Доктор технических наук
Доцент
Место работы |
Университет ИТМО, Санкт-Петербург, Россия |
|
E-mail: elena.shakhno@mail.ru
ORCID: 0000-0001-8005-8410
Статьи
Шахно Е.А., Куанг Зунг Нгуен, Синёв Д.А., Вейко В.П. Уменьшение размера минимального элемента при лазерной термохимической записи за счёт эффекта близости // Оптический журнал. 2022. Т. 89. № 6. С. 3–14. http://doi.org/10.17586/1023-5086-2022-89-06-03-14
Shakhno E.A., Nguyen Q.D., Sinev D.A., Veiko V.P. Proximity-effect-related reduction of the minimum element size in thermochemical laser writing [in Russian] // Opticheskii Zhurnal. 2022. V. 89. № 6. P. 3–14. http://doi.org/10.17586/1023-5086-2022-89-06-03-14
|
Аннотация
|
Шахно Е.А., Нгуен К.З. Исследование разрешающей способности прямой записи субмикронных структур на плёнках титана миллисекундными лазерными импульсами // Оптический журнал. 2019. Т. 86. № 4. С. 69–73. http://doi.org/10.17586/1023-5086-2019-86-04-69-73
Shakhno E.A., Nguyen K.Z. Study of the resolution of direct recording of submicron structures on titanium films using millisecond laser pulses [in Russian] // Opticheskii Zhurnal. 2019. V. 86. № 4. P. 69–73. http://doi.org/10.17586/1023-5086-2019-86-04-69-73
|
Аннотация
|
Шахно Е.А., Нгуен К.З. Динамика лазерного нагревания и окисления тонких металлических пленок с учетом изменения поглощательной способности // Оптический журнал. 2016. Т. 83. № 4. С. 31–37.
Shakhno E.A., Nguen Q.D. Dynamics of the laser heating and oxidation of thin metallic films, allowing for absorptivity variation [in Russian] // Opticheskii Zhurnal. 2016. V. 83. № 4. P. 31–37.
|
Аннотация
|
Шахно Е.А., Синев Д.А., Кулажкин А.М. Особенности лазерного окисления тонких пленок титана // Оптический журнал. 2014. Т. 81. № 5. С. 93–98.
Shakhno E.A., Sinev D.A., Kulazhkin A.M. Features of laser oxidation of thin films of titanium [in Russian] // Opticheskii Zhurnal. 2014. V. 81. № 5. P. 93–98.
|
Аннотация
|