Цифровой измеритель угла с двумерной шкалой

Бохман Е.Д., Венедиктов В.Ю., Королев А.Н., Лукин А.Я.

Полный текст на elibrary.ru

Публикация в Journal of Optical Technology

Ссылка для цитирования:

Бохман Е.Д., Венедиктов В.Ю., Королёв А.Н., Лукин А.Я. Цифровой измеритель угла с двумерной шкалой // Оптический журнал. 2018. Т. 85. № 5. С. 19–25. http://doi.org/10.17586/1023-5086-2018-85-05-19-25

Bokhman E.D., Venediktov V.Yu., Korolev A.N., Lukin A.Ya. Digital goniometer with a two-dimensional scale [in Russian] // Opticheskii Zhurnal. 2018. V. 85. № 5. P. 19–25. http://doi.org/10.17586/1023-5086-2018-85-05-19-25

Ссылка на англоязычную версию:

E. D. Bokhman, V. Yu. Venediktov, A. N. Korolev, and A. Ya. Lukin, "Digital goniometer with a two-dimensional scale," Journal of Optical Technology. 85(5), 269-274 (2018). https://doi.org/10.1364/JOT.85.000269

Аннотация:

Приведены результаты экспериментальных и модельных метрологических исследований цифрового измерителя угла, основанного на определении углового положения изображения оптической марки на матрице цифровой камеры. Описана также полностью цифровая технология измерений углов с использованием виртуальных носителей угловой шкалы — цифровых изображений. С помощью математической модели измерителя показана принципиальная возможность получения погрешности измерения угла на уровне тысячных долей угловой секунды.

Ключевые слова:

измерение угла поворота, оптическая марка, угловое положение марки, фотоприемная матрица, математическая модель, погрешность измерения

Благодарность:

В.Ю. Венедиктов признателен Минобрнауки РФ за финансирование в рамках Государственного задания №8.1039.2017 «Изучение новых принципов скоростного измерения амплитудно-фазовых параметров оптических пучков и их применение в задачах адаптивной оптики».

Коды OCIS: 100.2000, 120.3930

Список источников:

1. Электронный каталог продукции компании HEIDENHAIN GmbH. URL: www.heidenhain.de (дата обращения 18.12.2017)
2. Электронный каталог продукции компании RENISHAW. URL: www.renishaw.com (дата обращения 18.12.2017)
3. Электронный каталог продукции компании Специальное конструкторское бюро измерительных систем (СКБ ИС). URL: www.skbis.ru (дата обращения 18.12.2017)
4. Gordeev S.V., Turukhano B.G. Investigation of the interference field of two spherical waves for holographic recoding of precision radial diffraction gratings // Optics & Laser Technology. V. 28. № 5. P. 255–261.
5. Бурнашев М.Н., Павлов П.А., Филатов Ю.В. Разработка прецизионных лазерных гониометрических систем // Квант. электрон. 2013. Т. 43. № 2. С. 130–138.
6. Королёв А.Н., Гарцуев А.И., Полищук Г.С, Трегуб В.П. Метрологические исследования и выбор формы оптической марки в цифровых измерительных системах // Оптический журнал. 2010. Т. 77. № 6. С. 25–27.
7. Бельский А.Б., Ган М.А., Миронов И.А., Сейсян Р.П. Перспективы развития оптических систем для нанолитографии // Оптический журнал. 2009. Т. 76. № 8. С. 59–69.
8. Королёв А.Н., Гарцуев А.И. Исследование точности позиционирования изображения на ПЗС матрице // Измерительная техника. 2004. № 5. С. 20–22.
9. Stone J.A., Amer M., Faust B., Zimmerman J. Uncertainties in small-angle measurement systems used to calibrate angle artifacts // J. Res. Natl. Inst. Stand. Technol. 2004. V. 109. № 3. P. 319–333.