|
Королев А.Н., Лукин А.Я., Филатов Ю.В., Венедиктов В.Ю. Матричная технология измерений. Точность измерения координат элементов и контроль фотошаблонов // Оптический журнал. 2024. Т. 91. № 3. С. 115–123. http://doi.org/10.17586/1023-5086-2024-91-03-115-123
Korolev A.N., Lukin A.Ya., Filatov Yu.V., Venediktov V.Yu. Matrix measurement technology. The accuracy of measuring the coordinates of the elements and the control of the photomasks [in Russian] // Optickhesii Zhurnal. 2024. V. 91. № 3. P. 115–123. http://doi.org/10.17586/1023-5086-2024-91-03-115-123
|
Аннотация
|
|
Королев А.Н., Лукин А.Я., Филатов Ю.В., Венедиктов В.Ю. Матричная технология линейно-угловых измерений // Оптический журнал. 2022. Т. 89. № 12. С. 54–64. http://doi.org/10.17586/1023-5086-2022-89-12-54-64
Korolev A.N., Lukin A.Ya., Filatov Yu.V., Venediktov V.Yu. Matrix technology of linear–angular measurements [in Russian] // Optickhesii Zhurnal. 2022. V. 89. № 12. P. 54–64. http://doi.org/10.17586/1023-5086-2022-89-12-54-64
|
Аннотация
|
|
Королев А.Н., Лукин А.Я., Филатов Ю.В., Бохман Е.Д., Венедиктов В.Ю. Оптико-цифровая измерительная система с многоэлементной маркой // Оптический журнал. 2022. Т. 89. № 11. С. 32–38. DOI: 10.17586/1023-5086-2022-89-11-32-38
Korolev A.N., Lukin A.Ya., Filatov Yu.V., Bokhman E.D., Venediktov V.Yu. Digital optical measurement system with multielement marks [in Russian] // Оптический журнал. 2022. Т. 89. № 11. С. 32–38. DOI: 10.17586/1023-5086-2022-89-11-32-38
|
Аннотация
|
Бохман Е.Д., Венедиктов В.Ю., Королёв А.Н., Лукин А.Я. Цифровой измеритель угла с двумерной шкалой // Оптический журнал. 2018. Т. 85. № 5. С. 19–25. http://doi.org/10.17586/1023-5086-2018-85-05-19-25
Bokhman E.D. , Venediktov V.Yu., Korolev A.N., Lukin A.Ya. Digital goniometer with a two-dimensional scale [in Russian] // Opticheskii Zhurnal. 2018. V. 85. № 5. P. 3–6. http://doi.org/10.17586/1023-5086-2018-85-05-19-25
|
Аннотация
|
Королёв А.Н., Лукин А.Я., Полищук Г.С. Измерение динамической погрешности углового движения сканирующего зеркала // Оптический журнал. 2013. Т. 80. № 10. С. 60–64.
Korolyov A. N. , Lukin A. Ya., Polishchuk G. S. Measuring the dynamic error of the angular motion of a scanning mirror [in Russian] // Opticheskii Zhurnal. 2013. V. 80. № 10. P. 60–64.
|
Аннотация
|
Королев А.Н., Лукин А.Я., Полищук Г.С., Трегуб В.П. Оптический цифровой автоматизированный измеритель отклонений от прямолинейности // Оптический журнал. 2013. Т. 80. № 9. С. 45–50.
Korolev A. N., Lukin A. Ya., Polishchuk G. S., Tregub V. P. Automatic optical digital device for measuring deviations from rectilinearity [in Russian] // Opticheskii Zhurnal. 2013. V. 80. № 9. P. 45–50.
|
Аннотация
|
|
Королев А.Н., Лукин А.Я., Полищук Г.С. Новая концепция измерения угла. Модельные и экспериментальные исследования // Оптический журнал. 2012. Т. 79. № 6. С. 52–58.
Korolev A. N., Lukin A. Ya., Polishchuk G. S. New concept of angular measurement. Model and experimental studies [in Russian] // Opticheskii Zhurnal. 2012. V. 79. № 6. P. 52–58.
|
Аннотация
|
Назад
