Оценивание параметров интерференционных полос частичной когерентности методом адаптивной фильтрации Винера

Полный текст на elibrary.ru

Публикация в Journal of Optical Technology

Ссылка для цитирования:

Гуров И.П., Каранова В.О. Оценивание параметров интерференционных полос частичной когерентности методом адаптивной фильтрации Винера // Оптический журнал. 2020. Т. 87. № 11. С. 21–30. http://doi.org/10.17586/1023-5086-2020-87-11-21-30

Ссылка на англоязычную версию:

I. P. Gurov and V. O. Kapranova, "Assessment of parameters of partially coherent interference fringes using the Wiener adaptive filtering method," Journal of Optical Technology . 87(11), 658-664 (2020)

Аннотация:

Представлены результаты применения метода адаптивной фильтрации Винера для динамического оценивания параметров интерферометрических сигналов, сформированных при использовании источника излучения частичной когерентности в интерференционной профилометрии и оптической когерентной томографии. Показана возможность определения огибающей интерференционных полос и шага дискретизации интерферометрического сигнала по фазе с использованием полученных коэффициентов адаптивного фильтра Винера по критерию минимума дисперсии ошибки по отношению к сформированному опорному сигналу. Представлены экспериментальные результаты обработки интерферометрических сигналов частичной когерентности при определении профиля поверхности и внутренней микроструктуры объектов.

Ключевые слова:

интерферометрия частичной когерентности, оптическая когерентная томография, фильтрация Винера

Коды OCIS: 120.3180, 180.3170, 110.4500, 070.2025

Список источников:

1. Коломийцов Ю.В. Интерферометры. Л.: Машиностроение, 1976. 296 с.

2. Dresel T., Häusler G., Venzke H. Three-dimensional sensing of rough surfaces by coherence radar // Appl. Opt. 1992. V. 31. P. 919–925.

3. Schmitt J.M. Optical coherence tomography (OCT): A review // IEEE J. Select. Top. Quant. Electron. 1999. V. 5. P. 1205–1215.

4. Häusler G., Lindner M.V. ‘‘Coherence radar’’ and ‘‘spectral radar’’ — new tools for dermatological diagnosis // J. Biomed. Opt. 1998. V. 3. P. 21–31.

5. Choma M.A., Sarunic M.V., Yang C., Izatt J.A. Sensitivity advantage of swept source and Fourier domain optical coherence tomography // Opt. Exp. 2003. V. 11. P. 2183–2389.

6. De Groot P. Principles of interference microscopy for the measurement of surface topography // Adv. Opt. Photon. 2015. V. 7. P. 1–65.

7. Gurov I. Signal processing methods in full-field optical coherence microscopy // in Handbook of Full-Field Optical Coherence Microscopy: Technology and Applications / ed. by Dubois A. NY: Pan Stanford Publishing Pte. Ltd, 2016. Chapt. 5. P. 183–222.

8. Борн М., Вольф Э. Основы оптики. М.: Наука, 1973. 719 с.

9. Гудмен Дж. Статистическая оптика. М.: Мир, 1988. 528 с.

10. Гуров И.П., Захаров А.С. Анализ характеристик интерференционных полос методом нелинейной фильтрации Калмана // Опт. спектр. 2004. Т. 96. Вып. 2. С. 210–216.

11. Gurov I., Ermolaeva E., Zakharov A. Analysis of low-coherence interference fringes by the Kalman filtering method // JOSA A. 2004. V. 21. P. 242–251.

12. Vaseghi S.V. Advanced digital signal processing and noise reduction. 3^rd ed. Chichester: John Wiley & Sons Ltd, 2006. Chapt. 6. P. 165–186.

13. Уидроу Б., Стирнз С. Адаптивная обработка сигналов. М.: Радио и связь, 1989. 440 с.

14. Гуров И.П., Артемьева И.А., Капранова В.О. Динамическое оценивание фазы в интерферометрии управляемого фазового сдвига методом адаптивной фильтрации Винера // Оптический журнал. 2020. Т. 87. № 5. С. 42–53. 15. Gurov I., Volkov M., Zhukova E., et al. Evaluation of laser ablation crater relief by white light micro interferometer // Proc. SPIE. 2017. V. 10329. P. 103294I-1.