Оценка метрологических характеристик высокоточного цифрового автоколлиматора с помощью углового энкодера

Андреева Т.А., Бохман Е.Д., Венедиктов В.Ю., Гордеев С.В., Королев А.Н., Косьмина М.А., Лукин А.Я., Шур В.Л.

Полный текст на elibrary.ru

Публикация в Journal of Optical Technology

Ссылка для цитирования:

Андреева Т.А., Бохман Е.Д., Венедиктов В.Ю., Гордеев С.В., Королёв А.Н., Косьмина М.А., Лукин А.Я., Шур В.Л. Оценка метрологических характеристик высокоточного цифрового автоколлиматора с помощью углового энкодера // Оптический журнал. 2018. Т. 85. № 7. С. 39–43. http://doi.org/10.17586/1023-5086-2018-85-07-39-43

Andreeva T.A., Bokhman E.D., Venediktov V.Yu., Gordeev S.V., Korolev A.N., Kosmina M.A., Lukin A.Ya., Shur V.L. Estimation of metrological characteristics of a high-precision digital autocollimator using an angle encoder [in Russian] // Opticheskii Zhurnal. 2018. V. 85. № 7. P. 39–43. http://doi.org/10.17586/1023-5086-2018-85-07-39-43

Ссылка на англоязычную версию:

T. A. Andreeva, E. D. Bokhman, V. Yu. Venediktov, S. V. Gordeev, A. N. Korolev, M. A. Kos’mina, A. Ya. Lukin, and V. L. Shur, "Estimation of metrological characteristics of a high-precision digital autocollimator using an angle encoder," Journal of Optical Technology. 85(7), 406-409 (2018). https://doi.org/10.1364/JOT.85.000406

Аннотация:

Представлены результаты метрологических исследований высокоточного цифрового автоколлиматора. Обсуждаются вопросы оценки точности самого прибора, особенности построения измерительного стенда, а также методы обработки массивов данных результатов измерений автоколлиматора и прибора сравнения, позволяющие исключить некоторые составляющие погрешности.

Ключевые слова:

цифровой автоколлиматор, энкодер, измерение углов

Благодарность:

В.Ю. Венедиктов признателен Минобрнауки РФ за финансирование в рамках Государственного задания № 8.1039.2017 «Изучение новых принципов скоростного измерения амплитудно-фазовых параметров оптических пучков и их применение в задачах адаптивной оптики».

Коды OCIS: 100.2000, 120.3930

Список источников:

1. Королёв А.Н., Гарцуев А.И., Полищук Г.С., Трегуб В.П. Метрологические исследования и выбор формы оптической марки в цифровых измерительных системах // Оптический журнал. 2010. Т. 77. № 6. С. 25–27.
2. Gordeev S.V., Turukhano B.G. Investigation of the interference field of two spherical waves for holographic recoding of precision radial diffraction gratings // Optics & Laser Technol. 1996. V. 28. № 4. P. 255–261.
3. Geckeler R.D., Just A. A shearing-based method for the simultaneous calibration of angle measuring devices // Meas. Sci. Technol. 2014. V. 25. № 10. P. 105009–105023.
4. Just A., Krause M., Probst R., Wittekopf R. Calibration of high-resolution electronic autocollimators against an angle comparator // Metrologia. 2003. V. 40. № 5. P. 288–294.
5. Yandayan T., Akgoz S.A., Asar M. Calibration of high-resolution electronic autocollimators with demanded low uncertainties using single reading head angle encoders // Meas. Sci. Technol. 2014. V. 25. № 1. P. 015010–015015.
6. Sanchez-Brea L.M., Morlanes T. Metrological errors in optical encoders // Meas. Sci. Technol. 2008. V. 19. № 11. Р. 115104–115110.