Определение оптических постоянных тонких металлических пленок во время их осаждения в вакууме

Андреев С.В., Путилин Э.С. Определение оптических постоянных тонких металлических пленок во время их осаждения в вакууме // Оптический журнал. 2008. Т. 75. № 4. С. 78–81.

Andreev S.V., Putilin E.S. Determining the optical constants of thin metallic films while they are being deposited in vacuum [in Russian] // Opticheskii Zhurnal. 2008. V. 75. № 4. P. 78–81.

S. V. Andreev and É. S. Putilin, "Determining the optical constants of thin metallic films while they are being deposited in vacuum," Journal of Optical Technology. 75 (4), 271-273 (2008). https://doi.org/10.1364/JOT.75.000271

Предложен метод контроля оптических постоянных и толщины слоя во время его осаждения в вакууме по измерениям коэффициентов отражения и пропускания на двух подложках с различными показателями преломления. Все четыре измеряемых сигнала, а также сигнал фоновой засветки контролируются монохромным пространственным приемником излучения. Апробация системы проводилась на пленках никеля толщиной до 80 нм.