en
Назад
УДК: 539.232: 681.785.35
Измерение показателя преломления неоднородного просветляющего покрытия
Полный текст «Оптического журнала»
Полный текст на elibrary.ru
Публикация в Journal of Optical Technology
Немкова А.А., Путилин Э.С. Измерение показателя преломления неоднородного просветляющего покрытия // Оптический журнал. 2009. Т. 76. № 1. С. 61–63.
Nemkova A.A., Putilin E.S. Measuring the refractive index of an inhomogeneous antireflection coating [in Russian] // Opticheskii Zhurnal. 2009. V. 76. № 1. P. 61–63.
A. A. Nemkova and É. S. Putilin, "Measuring the refractive index of an inhomogeneous antireflection coating," Journal of Optical Technology. 76 (1), 51-52 (2009). https://doi.org/10.1364/JOT.76.000051
C помощью эллипсометрического и фотометрического методов выполнены измерения показателя преломления пленки на основе тетраэтоксисилана. Показано, что методом эллипсометрии возможно определить не только показатель преломления, но и выявить неоднородность оптического профиля.
1. Азам Р., Башара Н. Эллипсометрия и поляризованный свет. М.: Мир, 1981. 252 с.
2. Vedam K. Spectroscopic ellipsomeќry: a historical overview// Thin Solid Films. 1998. V. 313-314. P. 1-9.
3. Толмачев В.А. Адсорбционно-эллипсометричекий метод исследования оптического профиля, толщины и пористости тонких пленок // Оптический журнал. 1999. Т. 66. № 7. С. 20-34.
4. Крылова Т.Н. Интерференционные покрытия. Л.: Машиностроение, 1973. 224 с.