УДК: 53.087.42

Устройство для анализа наношероховатостей и загрязнений подложки по динамическому состоянию капли жидкости, наносимой на ее поверхность

Бородин С.А., Волков А.В., Казанский Н.Л.

Полный текст на elibrary.ru

Публикация в Journal of Optical Technology

Ссылка для цитирования:

Бородин С.А., Волков А.В., Казанский Н.Л. Устройство для анализа наношероховатостей и загрязнений подложки по динамическому состоянию капли жидкости, наносимой на ее поверхность // Оптический журнал. 2009. Т. 76. № 7. С. 42–47.

Borodin S.A., Volkov A.V., Kazanskiy N.L. Device for analyzing nanoroughness and contamination on a substrate from the dynamic state of a liquid drop deposited on its surface [in Russian] // Opticheskii Zhurnal. 2009. V. 76. № 7. P. 42–47.

Ссылка на англоязычную версию:

S.A. Borodin, A.V. Volkov, and N.L. Kazanskiy, "Device for analyzing nanoroughness and contamination on a substrate from the dynamic state of a liquid drop deposited on its surface," Journal of Optical Technology. 76 (7), 408-412 (2009). https://doi.org/10.1364/JOT.76.000408

Аннотация:

В статье развивается метод экспресс-контроля степени чистоты поверхности подложек, предназначенных для формирования микрорельефа дифракционных оптических элементов. Разработан и запатентован способ контроля наношерооватости и степени чистоты поверхности по динамическому состоянию капли жидкости. Приведены результаты экспериментов по оценке поведения капли жидкости, полученные с помощью высокоскоростной видеокамеры. Устройство применяется для оперативной коррекции технологического процесса финишной очистки диэлектрических подложек.

Ключевые слова:

плазмохимическое травление, смачиваемость поверхности, параметры процесса растекания капли

Благодарность:

Работа выполнена при поддержке грантов РФФИ 07-07-97601, 07-07-91580, 07-02-12134, гранта Президента РФ № НШ-3086.2008.9, а также Российско-американской программы “Фундаментальные исследования и высшее образование” (“BRHE”) и ведомственной научной программы Федерального агентства по образованию “Развитие научного потенциала высшей школы”.

Коды OCIS: 120.012.6660

Список источников:

1. Калябина И.А. Физические методы анализа поверхности в электронной технике // Обзоры по электронной технике. Серия 7 (Технология, организация производства и оборудование). В. 16. 1985. 681 с.
2. Анищенко Л.М, Кузнецов С.Е, Яковлева В.А. Влияние параметров обработки диэлектрических подложек в плазме тлеющего разряда на адгезию металлических пленок // Физика и химия обработки материалов. 1984. № 5. С. 82–84.
3. Майссел Л., Глэнг Р. Технология тонких пленок. М.: Советское радио, 1977. С. 507–542.
4. Юдина Н.К., Чупахин М.С., Лебедев Э.А., Федоров М.Н. Исследование и контроль плазмохимических процессов // Зарубежная электронная техника. 1980. № 3. С. 3–54.
5. Данилин Б.С, Кирсеев В.Ю. Применение низкотемпературной плазмы для очистки и травления материалов. М.: Энергоиздат, 1987. 372 с.
6. Пастухов В.А., Боксер Э.Л., Царевский Б.В. Способ определения краевого угла смачивания жидкостью твердых тел // А. с. № 531065. Бюл. изобр. 1976. № 37. С. 8.
7. Ициксонас Г.О., Шумахер А.А. Способ определения краевого угла смачивания // А. с. № 548788. Бюл. изобр. 1977. № 8. С. 23.
8. Магунов А.Н. Способ определения краевого угла смачивания // А. с. № 1260752. Бюл. изобр. 1986. № 36. С. 17.
9. Магунов А.Н., Мудров Е.В. Измерение краевого угла смачивания методом отраженного света // ПТЭ. 1990. № 5. С. 227–230.
10. Бородин С.А., Волков А.В., Колпаков А.И., Рафельсон Л.Л. Устройство контроля чистоты поверхности подложек // ПТЭ. 1990. № 5. С. 230–232.
11. Казанский Н.Л., Колпаков В.А., Колпаков А.И., Кричевский С.В., Ивлиев Н.А. Оптимизация параметров устройства трибометрического измерения чистоты поверхности подложек // Компьютерная оптика. 2005. В. 28. С. 76–79.
12. Казанский Н.Л., Волков А.В., Бородин С.А., Ерополов В.А. Устройство контроля чистоты поверхности подложки // Патент России № 54677.2006.
13. Казанский Н.Л., Волков А.В., Бородин С.А. Способ контроля шероховатости поверхности диэлектрических подложек // Патент России № 2331870.2008.
14. Ефимов И.Е., Козырь И.Я., Горбунов Ю.И. Микроэлектроника. Физические и технологические основы, надежность. М.: Высшая школа, 1986. 464 с.
15. Бородин С.А. Исследование процесса растекания капли жидкости, наносимой на поверхность подложки // Компьютерная оптика. 2005. В. 28. С. 66–69.
16. Бородин С.А., Волков А.В., Казанский Н.Л. Автоматизированное устройство для оценки степени чистоты подложки по динамическому состоянию капли жидкости, наносимой на ее поверхность // Компьютерная оптика. 2005. В. 28. С. 70–75.