УДК: 53.08, 535.016

Метод оценки шероховатости поверхности рельефно-фазовых голограммных оптических элементов и ее влияния на их изображающие свойства

Полный текст на elibrary.ru

Публикация в Journal of Optical Technology

Ссылка для цитирования:

Корешев С.Н., Атлыгина Ю.В. Метод оценки шероховатости поверхности рельефно-фазовых голограммных оптических элементов и ее влияния на их изображающие свойства // Оптический журнал. 2011. Т. 78. № 3. С. 26–28.

Koreshev S.N., Atlygina Yu.V. Method for estimating the surface roughness of relief-phase holographic optical elements and its effect on their imaging properties [in Russian] // Opticheskii Zhurnal. 2011. V. 78. № 3. P. 26–28.

Ссылка на англоязычную версию:

S. N. Koreshev and Yu. V. Atlygina, "Method for estimating the surface roughness of relief-phase holographic optical elements and its effect on their imaging properties," Journal of Optical Technology. 78(3), 174-175 (2011). https://doi.org/10.1364/JOT.78.000174

Аннотация:

Описан способ определения коротковолновой границы применимости рельефно-фазовых голограммных оптических элементов (ГОЭ), обусловленной шероховатостью их поверхности. Его суть заключается в использовании данных, получаемых с помощью атомно-силового микроскопа, для определения усредненной по базовой площади, т. е. площади сканирования, формы профиля рельефа ГОЭ; в определении на ее основе усредненных по той же базовой площади значений среднеквадратической шероховатости его поверхности и в последующем расчете граничной длины волны применимости ГОЭ. Разработан программный модуль для реализации способа.

Ключевые слова:

рельефно-фазовая голограмма, голограммный оптический элемент, шероховатость поверхности, среднеквадратическая шероховатость поверхности, аберрации оптических систем, светорассеяние, программный модуль

Коды OCIS: 090.0090, 090.2890

Список источников:

1. Корешев С.Н., Ратушный В.П. Наноструктурирование тонких пленок халькогенидного стеклообразного полупроводника в процессе формирования рельефно-фазовых голограммных структур // Опт. и спектр. 2009. Т. 106. № 2. С. 331–336.
2. Rabady R., Frankstein D., Avrutsky I. Heat treatment for reduction of surface roughness on holographic gratings // Opt. Lett. 2003. V. 28. № 18. P. 1665–1667.
3. Hunter W.R., Kowalski V.P., Rife J.C., Cruddace G. Investigation of the properties of an ion-etched plane laminar holographic grating // Appl. Opt. 2001. V. 40. № 34. P. 6157–6165.
4. Корешев С.Н., Ратушный В.П. Голографическая фотолитография на основе тонких пленок халькогенидного стеклообразного полупроводника // Оптический журнал. 2007. Т. 74. № 7. С. 80–85.
5. Корешев С.Н., Гиль С.В., Аникиева О.А. Влияние регистрирующей среды на аберрационные свойства голограммных оптических элементов, получаемых на тонких слоях галогенидосеребряной фотоэмульсии // Опт. и спектр. 1990. Т. 69. № 6. С. 1371–1377.
6. Марешаль А., Франсон М. Структура оптического изображения. Дифракционная теория и влияние когерентности света. М.: Мир, 1964. 295 с.
7. Фризер Х. Фотографическая регистрация информации. М.: Мир, 1978. 670 с.
8. Межгосударственный стандарт ГОСТ 2789-73 “Шероховатость поверхности. Параметры и характеристики”.
9. Электронный ресурс: http://www.ntmdt.ru/device/solver-p47-pro
10. Корешев С.Н., Ратушный В.П. Зависимость параметров паразитного наноструктурирования рельефно-фазовых голограммных структур на тонких пленках халькогенидного стеклообразного полупроводника от высоты их рельефа // Оптический журнал. 2009. Т. 76. № 5. С. 47–50.