en
Назад
УДК: 535.317
Исследование способов дискретизации источника при моделировании фотолитографического изображения
Полный текст «Оптического журнала»
Полный текст на elibrary.ru
Публикация в Journal of Optical Technology
Иванова Т.В., Зуева Л.В. Исследование способов дискретизации источника при моделировании фотолитографического изображения // Оптический журнал. 2012. Т. 79. № 5. С. 48–52.
Ivanova T. V., Zueva L. V. Study of methods for discretizing a source when modelling a photolithographic image [in Russian] // Opticheskii Zhurnal. 2012. V. 79. № 5. P. 48–52.
В рамках модели Аббе при моделировании формирования фотолитографического изображения рассмотрены два способа дискретизации источника: по прямоугольной сетке с различным шагом дискретизации и при радиальном расположении точек на прямоугольной сетке с различным шагом по радиусу и по длине дуги между точками. Показано, что использование радиального распределения точек значительно ускоряет процесс вычисления, при этом точность моделирования определяется в основном шагом по радиусу.
фотолитография, модель Аббе, дискретизация источника
Коды OCIS: 110.1758, 110.2990, 110.1650, 110.3960, 110.5220
Список источников:1. Heil T., Graupner P., Garreis R., Egger R., Brotsack M., Finders J., Hansen S. Predictive modeling of advanced illumination pupils used as imaging enhancement for low-k1 applications // Proc. SPIE. 2004. V. 5377. P. 344–356.
2. Flagello D.G., Geh B., Socha R., Liu P., Cao Y., Stas R., Natt O., Zimmermann J. Understanding illumination effects for control of optical proximity effects (OPE) // Proc. SPIE. V. 6924. P. 69241U-1–69241U-15.
3. Zimmermann J., Gräupner P., Neumann J.T., Hellweg D., Jürgens D., Michael Patra, Hennerkes C., Maul M., Geh B., Engelen A., Noordman O., Mulder M., Park S. and Vocht J.D. Generation of arbitrary freeform source shapes using advanced illumination systems in high-NA immersion scanners // Proc. SPIE. 2010. V. 7640. P. 764005–764020.
4. Борн М., Вольф Э. Основы оптики. М.: Наука, 1973. 720 с.
5. Hopkins H.H. Image formation with coherent and partially coherent light // Photographic Science and Engineering. 1977. V. 21. № 3.