УДК: 681.723.26

Лазерная модуляционная интерференционная микроскопия оптических поверхностей

Лопарев А.В., Зензинов C.Ю., Игнатьев П.С., Индукаев К.В., Осипов П.А., Ромаш Е.В.

Полный текст на elibrary.ru

Публикация в Journal of Optical Technology

Ссылка для цитирования:

Лопарев А.В., Зензинов А.Б., Игнатьев П.С., Индукаев К.В., Осипов П.А., Ромаш Е.В. Лазерная модуляционная интерференционная микроскопия оптических поверхностей // Оптический журнал. 2012. Т. 79. № 6. С. 72–78.

Loparev A.V., Romash E.V., Zenzinov A.B., Ignat’ev P.S., Indukaev K.V., Osipov P.A. Laser-based modulation-interference microscopy of optical surfaces [in Russian] // Opticheskii Zhurnal. 2012. V. 79. № 6. P. 72–78.

Ссылка на англоязычную версию:

A. V. Loparev, E. V. Romash, A. B. Zenzinov, P. S. Ignat’ev, K. V. Indukaev, and P. A. Osipov, "Laser-based modulation-interference microscopy of optical surfaces," Journal of Optical Technology. 79(6), 366-370 (2012). https://doi.org/10.1364/JOT.79.000366

Аннотация:

Разработана новая версия модуляционного интерференционного микроскопа с длинноходовым координатным столом на аэромагнитных направляющих, обеспечивающих перемещение микроскопа с непрямолинейностью не более 0,1 мкм на длине хода до 300 мм. Данная модификация микроскопа может быть использована для исследования поверхности крупногабаритных оптических деталей размером до 300 х 300 х 100 мм с разрешением 0,1 нм по вертикали и 10-100 нм в плоскости образца. Рассмотрены конструкция и принцип работы основных узлов микроскопа. На примерах показаны возможности и преимущества разработанного микроскопа при исследовании оптических поверхностей.

Ключевые слова:

модуляционная интерференционная микроскопия, оптическая анизотропия, исследования оптических поверхностей, топология интегральных схем, наноструктурные исследования

Коды OCIS: 180.3170, 170.1650

Список источников:

1. Bennet A.H. Phase microscopy // N.Y.: John Wiley & Sons, Inc., 1951. 166 р.
2. Романов С.Г., Бардосова М. Поляризационная анизотропия оптического пропускания в опалах и Лэнгмюр–Блоджет кристаллах // Физика твердого тела. 2010. Т. 52. № 3. С. 495–504.
3. Andreev V.А., Indukaev K.V. The problem of subrayleigh resolution in microscopy // Journal of Russian Laser Research. 2003.V. 24. № 3. С. 1–22.
4. Фефелова Т.С. Новые конструкции преобразователей движения для мехатронных модулей // Фундаментальные исследования. 2010. № 3. С. 50–51.
5. ГОСТ 11141-84. Детали оптические. Классы чистоты поверхностей. Методы контроля. Введ. 1985-01-01. M.: Издательство стандартов, 1984.
6. ГОСТ 2789-73. Шероховатость поверхности. Параметры и характеристики. Введ. 1975-01-01. M.: Издательство стандартов, 1973.
7. Азарова В.В., Голяев Ю.Д., Колодный Г.Я. Прецизионные оптические поверхности и лазерные зеркала. Их метрология и применение // Тр. 50-й научно-технич. конф. МФТИ. 2007. Ч. 5. Физическая и квантовая электроника. С. 45–46.
8. Карасев А.Л., Смирнов А.В., Смирнов Л.И., Юренков М.В. Способ защиты ценного предмета // Евразийский патент № 011567. 2008.
9. Wyant J.C. White light interferometry exhibits error // Proc. SPIE. 2002. V. 4737. P. 98–107.
10. Профилометр с одинарным датчиком для бесконтактной 2D и 3D метрологии поверхности http://www. frt-gmbh.com/en/products/microprof/microprof/