DOI: 10.17586/1023-5086-2023-90-04-35-47
УДК: 538.975
Модификация оптических и электрических свойств плёнок селенида свинца PbSe наносекундными импульсами лазерного излучения с длиной волны 1,064 мкм
Полный текст на elibrary.ru
Ольхова А.А., Патрикеева А.А., Дубкова М.А., Сергеев М.М. Модификация оптических и электрических свойств плёнок селенида свинца PbSe наносекундными импульсами лазерного излучения с длиной волны 1,064 мкм // Оптический журнал. 2023. Т. 90. С. 35—47. http://doi.org/10.17586/1023-5086-2023-90-04-35-47
Olkhova A.A., Patrikeeva A.A., Dubkova M.A., Sergeev M.M. Modification of optical and electrical properties of lead selenide PbSe films by nanosecond laser pulses with a wavelength of 1.064 microns // Opticheskii Zhurnal. 2023. V. 90. № 4. P. 35–47. http: //doi.org/10.17586/1023-5086-2023-90-04-35-47
Предмет исследования. В работе представлены результаты исследования по изменению оптических и электрических характеристик плёнок PbSe при воздействии наносекундными лазерными импульсами. Цель работы. Исследование особенностей модификации структуры и свойств плёнок селенида свинца (PbSe) толщиной до 1 мкм, нанесённых на пластины силикатного стекла, после воздействия наносекундными лазерными импульсами с длиной волны 1064 нм в режиме построчного сканирования пятном излучения. Основные результаты. Изменение оптических свойств плёнок зависело от интенсивности лазерного излучения. При плотностях мощности 1,45 кВт/см2 и скорости сканирования 120 мм/с лазерное облучение приводило к потемнениею плёнки PbSe, а её отражение снижалось в видимом спектральном диапазоне. При этом пропускание и отражение плёнки в инфракрасной области спектра практически не изменялось, а её электрическое сопротивление изменялось более чем в 1,5 раза: возрастало при измерении перпендикулярно лазерным трекам и снижалось при измерении параллельно им. Понижение плотности мощности до 0,39 кВт/см2 и скорости сканирования до 30 мм/с приводило к просветлению плёнки PbSe, что вызвано изменением отражения в видимой области спектра. Также происходило изменение пропускания и отражения в инфракрасной области спектра, а электрическое сопротивление возрастало более чем в 10 раз. Практическая значимость. Показано, что отражение плёнок PbSe, широко используемых в устройствах газового анализа в качестве фоточувствительных элементов, может быть снижено в результате лазерной обработки импульсами лазерного излучения. Лазерная обработка также приводит к повышению фоточувствительности плёнки в среднем инфракрасном диапазоне длин волн. Таким образом, лазерная обработка может успешно заменить менее успешную в технологическом применении тепловую обработку в печи, которая приводит к аналогичны результатам.
Благодарность: представленные исследования были выполнены за счёт гранта Российского научного фонда (проект № 197910208).
халькогенидные плёнки, лазерное воздействие, структурирование поверхности, наносекундные лазерные импульсы, фоточувствительность, сопротивление плёнки
Коды OCIS: 140.3390.
Список источников:- Sati D.C., Jain H. Coexistence of photodarkening and photobleaching in GeSbSe thin films // Journal of NonCrystalline Solids. 2017. V. 478. P. 23–28. https://doi.org/10.1016/j.jnoncrysol.2017.10.003
- Tran D., Gorius N., Quilligan G. et al. Gas analyzer for monitoring H2O and CO2 partial pressures in space instrumentation // IEEE Sensors Journal. 2022. V. 22. № 13. P. 12576–12587. https://doi.org/10.1109/JSEN.2022.3177079
- Maskaeva L.N., Yurk V.M., Markov V.F. et al. Structure and photoelectric properties of PbSe films deposited in the presence of ascorbic acid // Semiconductors. 2020. V. 54. P. 1191–1197. http://doi.org/10.1134/S106378262010022X
- Weng B., Qiu J., Zhao L., Yuan Z., Chang C., Shi Z. Recent development on the uncooled midinfrared PbSe detectors with high detectivity // Quantum Sens. Nanophoton. Devices XI. 2014. V. 8993. P. 178–185. https://doi.org/10.1117/12.2041276
- Bakanov V.M., Maskaeva L.N., Markov V.F. Thermosensitization of nanostructured PbSe films // Chimica Techno Acta. 2015. V. 2. № 2. P. 164–170. https://doi.org/10.15826/chimtech.2015.2.2.018
- Hemati T., Weng B. Theoretical study of leakymode resonant gratings for improving the absorption efficiency of the uncooled midinfrared photodetectors // Journal of Applied Physics. 2018. V. 124. № 5. P. 053105. https://doi.org/10.1063/1.5040373
- Yang Y., Liu, H.C., Hao, M.R., Shen W.Z. Investigation on the limit of weak infrared photodetection // Journal of Applied Physics. 2011. V. 110. № 7. P. 074501. https://doi.org/10.1063/1.3642986
- Nepomnyaschy S.V., Pogodina S.B. Method for manufacturing a semiconductor structure on the basis of lead selenide // Patent WO2013/154462 A2. 2013.
- Nian Q., Callahan M., Saei M., Look D., Efstathiadis H., Bailey J., Cheng G. J. Large scale laser crystallization of solutionbased Aluminadoped Zinc Oxide (AZO) nanoinks for highly transparent conductive electrode // Sci Rep. 2015. V. 5. P. 15517. https://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed/26515670
- Olkhova A.A., Patrikeeva A.A., Dubkova M.A., Kuzmenko N.K., Nikonorov N.V., Sergeev M.M. Comparison of CW NUV and Pulse NIR laser influence on PbSe films photosensitivity // Applied Sciences. 2023. V. 13. № 4. P. 2396. https://doi.org/10.3390/app13042396
- Вейко В.П. Лазерная обработка пленочных элементов. Л.: Машиностроение, 1986. Т. 248. С. 4.
- Popov V.P., Tikhonov P.A., Tomaev V.V. Investigation into the mechanism of oxidation on the surface of lead selenide semiconductor structures // Glass physics and chemistry. 2003. V. 29. P. 494–500.
- Ahmed R., Gupta M.C. Midinfrared photoresponse of electrodeposited PbSe thin films by laser processing and sensitization // Optics and Lasers in Engineering. 2020. V. 134. P. 106299. https://doi.org/10.1016/j.optlaseng.2020.106299
- Tomaev V.V., Miroshkin V.P., Gar'kin L.N., Tikhonov P. Dielectric properties and phase transition in the PbSe+ PbSeO3 composite material // Glass Physics and Chemistry. 2005. V. 31. P. 812–819.
- Томаев В.В., Петров Ю.В. Получение окисленных пленок PbSeO3 из пленок PbSe // Физика и химия стекла. 2012. Т. 38. № 2. С. 276–281.
- Silverman S.J., Levinstein H. Electrical properties of single crystals and thin films of PbSe and PbTe // Physical Review. 1954. V. 94. № 4. P. 871. https://doi.org/10.1103/PhysRev.94.871