Коррекция спектральной характеристики при изготовлении полосовых многослойных диэлектрических фильтров

Полный текст на elibrary.ru

Публикация в Journal of Optical Technology

Ссылка для цитирования:

Прокашев В.Н. Коррекция спектральной характеристики при изготовлении полосовых многослойных диэлектрических фильтров // Оптический журнал. 2024. Т. 91. № 1. С. 101–107. http://doi.org/10.17586/1023-5086-2024-91-01-101-107

Prokashev V.N. Correction of spectral characteristics in the manufacture of bandpass multilayer dielectric filters [in Russian] // Opticheskii Zhurnal. 2024. V. 91. № 1. P. 101–107. http://doi.org/10.17586/1023-5086-2024-91-01-101-107

Ссылка на англоязычную версию:

Vadim N. Prokashev, "Correction of spectral characteristics in the manufacture of bandpass multilayer dielectric filters," Journal of Optical Technology. 91(1), 61-64 (2024). https://doi.org/10.1364/JOT.91.000061

Аннотация:

Предмет исследования. Оптические многослойные диэлектрические полосовые фильтры. Цель работы. Разработка методики коррекции искажений спектральной характеристики, вызванных случайными отклонениями толщины слоев при напылении фильтра. Метод. Рассмотрена достаточно простая методика коррекции случайных отклонений толщины предыдущих слоев намеренным изменением толщины последующих в структурах сложных составных полосовых фильтров. Основные результаты. На примере практической реализации двух составных полосовых фильтров показаны применение данной методики и возможность почти полной коррекции искажений спектральной характеристики. Практическая значимость. Предложенная методика последовательной коррекции искажений спектральной характеристики многослойного диэлектрического полосового фильтра позволяет эффективней достигать желаемого результата и значительно снижать количество брака при изготовлении таких фильтров, особенно их больших партий.

Ключевые слова:

многослойные интерференционные покрытия, вакуумное напыление, синтез полосовых фильтров

Коды OCIS: 310.4165, 310.1620

Список источников:

1. Macleod H.A. Thin film optical filters / 4th ed. Series in Optics and Optoelectronics. CRC Press, by Taylor and Francis Group, 2010. 772 р.

2. Hawkins G.J., Hunneman R. Design and fabrication of infrared filters for remote sounding instrumentation // Proc. SPIE. 1994. V. 2210. P. 63965. http://dx.doi.org/10.1117/12.188124

3. Furman S.A. and Tikhonravov A.V. Basics of optics of multilayer systems. Gif-sur-Yvette: Editions Frontieres, 1992. 133 р.

4. Thelen A. Design of optical interference coatings. N.Y.: McGraw-Hill Book Company, 1988. 255 р.

5. Воронкова Е.М., Гречушников Б.Н., Дистлер Г.И., Петров И.П. Оптические материалы для инфракрасной техники / Справочное издание. М.: Наука, 1965. 335 с.

6. Ritter E. Optical film materials and their applications // Appl. Opt. 1976. V. 15. P. 2318–2327. http://dx.doi.org/10.1364/AO.15.002318

7. Zhang K.G., Seeley J.S., Huneman R., and Hawkins G.J. Optical and semiconductor properties of lead telluride coatings // Proc. SPIE. 1989. V. 1112. P. 393–402. http://dx.doi.org/10.1117/12.960798

8. Ким Чжон Суп, Путилин Э.С. Формирование толщины слоев вакуумным испарением // Оптический журнал. 1998. Т. 65. № 10. С. 108–112.

9. Tikhonravov A.V., Trubetskov M.K., and Amotchkina T.V. Statistical approach to choosing a strategy of monochromatic monitoring of optical coating production // Appl. Opt. 2006. V. 45. P. 7863–7870. http://dx.doi.org/10.1364/AO.45.007863

10. Tikhonravov A.V., Trubetskov M.K., and Amotchkina T.V. Investigation of the effect of accumulation of thickness errors in optical coating production by broadband optical monitoring // Appl. Opt. 2006. V. 45. P. 7026–7034. http://dx.doi.org/10.1364/AO.45.007026

11. Macleod H.A. and Richmond D. The effect of errors in the optical monitoring of narrow-band all-dielectric thin film optical filters // Optica Acta. 1974. V. 21. P. 429–443.

12. Hiraga R., Sugawara N., Ogura S., and Amano S. Measurement of spectral characteristics of optical thin film by rapid scanning spectrophotometer // Japanese J. Appl. Phys. 1974. P. 689–692.

13. Котликов Е.Н., Тропин А.Н. Критерий устойчивости спектральных характеристик многослойных интерференционных покрытий // Оптический журнал. 2009. Т. 76. № 3. С. 60–66.

14. Котликов Е.Н., Тропин А.Н. Коррекция спектральных характеристик отрезающих фильтров // Оптический журнал. 2009. Т. 76. № 3. С. 57–59.

15. Villa F., Pompa O. Emission pattern of real vapor sources in high vacuum: An overview // Appl. Opt. 1999. V. 38. P. 695–703 http://dx.doi.org/10.1364/AO.38.000695

16. Heitmann W. The influence of various parameters on the refractive index of evaporated dielectric thin films // Appl. Opt. 1968. V. 7. P. 1541–1543. http://dx.doi.org/10.1364/AO.7.001541