Стабилизация оптических параметров фильтров на основе аморфного кремния

Гайнутдинов И.С., Несмелов Е.А., Алиакберов Р.Д., Михайлов А.В., Абзалова Г.И. Стабилизация оптических параметров фильтров на основе аморфного кремния // Оптический журнал. 2004. Т.71. №12 С. 48-53.

Gainutdinov I. S., Nesmelov E. A., Aliakberov R. D., Abzalova G. I., Mikhailov A. V. Stabilization of the optical parameters of filters based on amorphous silicon // Journal of Optical Technology. 2004. V. 71. № 12. P. 842-846. https://doi.org/10.1364/JOT.71.000842

Установлено, что отжиг готовых фильтров, изготовленных на основе пары аморфный кремний-кварц, позволяет полностью стабилизировать их оптические параметры. При отжиге фильтров на воздухе происходит небольшой сдвиг полосы пропускания в коротковолновую область спектра и повышение максимальной прозрачности за счет увеличения однородности пленок. Проведенные расчеты показали, что основные изменения происходят в пленках кварца