Определение параметров тонких оптических пленок спектрофотометрическим методом

Вольпян О.Д., Яковлев П.П. Определение параметров тонких оптических пленок спектрофотометрическим методом // Оптический журнал. 2004. Т.71. №12 С. 54-56.

Vol'pyan O. D., Yakovlev P. P. Determining the parameters of optical thin films by a spectrophotometric method // Journal of Optical Technology. 2004. V. 71. № 12. P. 847-848. https://doi.org/10.1364/JOT.71.000847

Предложена процедура определения показателя преломления и толщины тонких прозрачных пленок, основанная на аппроксимации экспериментальной спектральной зависимости коэффициента отражения кубической сплайн-функцией и вычислении двух первых производных. Проанализированы ошибки, возникающие при вычислении параметров пленок различной толщины. Показано, что методика может уверенно применяться при обработке результатов спектрофотометрических измерений оптических пленок толщиной более 150-200 A.