Высокотемпературные сверхпроводниковые болометры на основе кремниевой мембранной технологии

Хребтов И.А., Ткаченко А.Д. Высокотемпературные сверхпроводниковые болометры на основе кремниевой мембранной технологии // Оптический журнал. 2004. Т.71. №3 С. 22-33.

Khrebtov I.A., Tkachenko A.D. High-temperature superconducting bolometers based on silicon-membrane technology [in Russian] // Opticheskii Zhurnal. 2004. V. 71. No 3. P. 22-33.

Khrebtov I.A., Tkachenko A.D. High-temperature superconducting bolometers based on silicon-membrane technology // Journal of Optical Technology. 2004. V. 71. № 3. P. 143-152. https://doi.org/10.1364/JOT.71.000143

Представлен анализ состояния разработок высокотемпературных сверхпроводниковых (ВТСП) болометров на основе кремниевой мембранной технологии. Рассмотрены вопросы теории, включая обсуждение основных источников шумов и особенностей режимов работы болометров с учетом положительной и отрицательной электротепловой обратной связи, специфика получения качественных ВТСП пленок на кремниевых подложках, конструктивные и технологические особенности изготовления одиночных болометров с большой приемной площадкой и микроболометров для линейных и двумерных матриц. Анализируются результаты расчетного моделирования основных характеристик и проводится сравнение с экспериментом.