Формирование наноструктур на поверхности металлических пленок зондом атомно-силового микроскопа при воздействии лазерными импульсами

Степанов А.Н., Кирсанов А.В., Киселев А.М., Полушкин Н.И. Формирование наноструктур на поверхности металлических пленок зондом атомно-силового микроскопа при воздействии лазерными импульсами // Оптический журнал. 2004. Т.71. №6 С. 52-57.

Stepanov A.N., Kirsanov A.V., Kiselev A.M., Polushkin N.I. Formation of nanostructures on the surface of metal films by the probe of an atomic-force microscope during the action of laser pulses [in Russian] // Opticheskii Zhurnal. 2004. V. 71. No 6. P. 52-57.

Stepanov A.N., Kirsanov A.V., Kiselev A.M., Polushkin N.I. Formation of nanostructures on the surface of metal films by the probe of an atomic-force microscope during the action of laser pulses // Journal of Optical Technology. 2004. V. 71. № 6. P. 379-383. https://doi.org/10.1364/JOT.71.000379

При облучении импульсами титан-сапфирового лазера зонда атомно-силового микроскопа на поверхности металлических пленок получены наноструктурысхарактерным диаметром 30-70 нм и глубиной 5-15 нм.Измерены пороги образования структур, исследованы зависимости порогов от поляризации лазерного излучения, длительности лазерного импульса. расстояния между острием зонда и поверхностью образца. Выявлено, что основной причиной образования наноструктур является механическое давление зонда на образец при его удлинении в результате нагрева поглощенным лазерным излучением. Использование импульсов позволило расширить диапазон материалов, поддающихся обработке.